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电子显微镜分析仪

QUANTAX EBSD

同轴 TKD 具有无与伦比的性能

最佳空间分辨率

低探头电流要求

1.5
纳米
有效的空间分辨率
独特的同轴 TKD 提供最佳的样品-探测器几何构型，从而实现无与伦比的性能
2
nA
测试所需的最大电流
同轴 TKD 可实现低探头电流测试，且不影响测试速度和数据质量
125,000
Pps
超快获取 FSE、BSE 和 STEM 图像
无与伦比的ARGUS成像系统可在几秒钟内实现高对比度和低噪声成像

具有无与伦比的空间分辨率的纳米材料取向分布图

QUANTAX EBSD 系统加上广受欢迎的 OPTIMUS TKD 探测器，是分析 SEM 中纳米材料的最佳解决方案。原因如下：

  • 提供 1.5 nm 的最佳空间分辨率
  • 在不影响速度和/或数据质量的情况下以低测试电流进行测试
  • 在使用浸入式透镜模式的超高分辨 SEM 下工作的唯一 TKD 解决方案
  • 全自动内置 ARGUS 成像系统
联系我们 OPTIMUS 2

为什么我需要同轴 TKD？

Ge-Sb-Te (GST) 薄膜样品的暗场像图片，我们感谢斯坦福大学Aaron Lindenberg组提供的样品和图像结果
  • 实现最佳空间分辨率
  • SEM 中获取取向分布图和物相分布图
  • 用于快速测试，同时不影响数据质量/完整性
  • 以令人难以置信的速度，通过全自动信号优化，以出色的对比度和分辨率拍摄 STEM 图像
  • 可使用低电流分析束流敏感材料。

您的分析挑战是什么？

在测量区域通过ARGUSM成像探测器采集的原子对比度图像。从不同的灰色级别可以推断出至少 5 个不同阶段的存在。

矿物学样品的高级物相识别

EBSD是地球科学研究中一项非常强大的技术，可用于分析微观结构和物相等。
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Overview of the selected microprocessor: micro-XRF map acquired with M4 TORNADO.

Microstructure characterisation of a microprocessor wire bonding with EBSD

Ball bonding is a type of wire bonding, commonly used for electrical interconnections in semiconductor devices.
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使用ARGUSM成像探测器获得的相位对比度图像显示至少4个不同的相位。请注意，在相位边界处存在许多精细沉淀物。同时进行EBSD/EDS测量的结果如图2和5所示。

镍基超合金微观结构的 EBSD 表征

镍基超合金以其出色的机械强度、耐热蠕变变形、耐疲劳、耐腐蚀或氧化而广为人知。
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网络研讨会

2020 webinar banner 3d ebsd eds qube
ON-DEMAND SESSION - 55 MINUTES

Latest developments in advanced 3D EBSD/EDS data processing with ESPRIT QUBE

3D-EBSD/EDS is a destructive tomographic method consisting of repeated sectioning and subsequent EBSD and EDS analysis.
csm_Fischione_Webinar_Banner_d7c396cbc4
ON-DEMAND SESSION - 50 MINUTES

Advanced Sample Preparation by Broad Ion Beam Milling for EBSD Analyses

This webinar provides sample preparation solutions for challenging materials using Fischione Instruments’ Model 1061 SEM Mill, a broad ion beam (BIB) mill, and corresponding high quality EBSD measurements acquired using Bruker eFlash FS detector.
csm_2020_Banner_nanostructural_characterization_semiconductors_2225c1c066
ON-DEMAND SESSION - 46 MINUTES

Nanostructural characterization of semiconductors with SEM

This webinar will discuss the quantitative characterization of nanostructured semiconducting materials using SEM with EDS and TKD techinques.

资源和出版物

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宣传册和传单

应用说明

规格表

出版物

相关产品

eFlash FS，实现高灵敏度和高吞吐量。

eFlash FS

新型 EBSD 探测器 eFlash FS 旨在实现最大灵敏度，允许在不影响数据质量的情况下进行高速 EBSD 测量，即使在变形或轻质材料等具有挑战性的应用中。
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OPTIMUS 2

Our new, augmented TKD solution builds on the unmatched performance of existing on-axis TKD through the addition of multiple new hardware options, accessories, and software features.
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软件： ESPRIT 系列

ESPRIT 2 将四种分析方法结合在单个用户界面下。其中包括用于 SEM 的 EDS 和 （S）TEM、WDS、用于 SEM 的微型 XRF 和 EBSD。
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埃斯普里特 · 库贝

ESPRIT QUBE 软件

ESPRIT QUBE 是用于高级 3D EBSD 和 EDS 数据后处理和可视化分析的现代软件平台。它具有最先进的分析软件，可以对电子显微镜上使用 EBSD 和/或 EDS 采集的数据进行 3D 可视化和数据后处理。
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FSE/BSE detectors mounted above and below the eFlash screen

Ultrafast ForeScatter Electron (FSE) and BackScatter Electron (BSE) Imaging of EBSD Samples

ARGUS imaging system combines an ingenious idea with ultra-high quality silicon diodes and Bruker’s unrivalled signal processing technology to deliver FSE and BSE images with unmatched quality and detail.
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