電子顕微鏡用分析装置

QUANTAX EBSD

オンアクシスTKDの比類なきパフォーマンス

最高の空間分解能

低プローブ電流

1.5
nm
空間分解能
ブルカー独自のオンアクシスTKD。最適なサンプル・検出器ジオメトリで比類なきパフォーマンス。
2
nA
必要な最大プローブ電流
オンアクシスTKDにより、測定スピードとデータ品質を損なうことなく低プローブ電流測定が可能
125,000
pps
超高速FSE、BSE、STEMイメージング
ARGUSイメージングシステムにより、数秒でハイコントラスト&低ノイズイメージングが可能です

比類なき空間分解能で結晶方位マッピング

QUANTAX EBSDシステムと定評のあるOPTIMUS2 TKD検出器ヘッドは、SEMによるナノ材料分析に最適なソリューションです。

  • 最高 1.5 nmに達する空間分解能
  • 測定スピードとデータ品質を損なうことなく低プローブ電流測定
  • イマージョンレンズ技術を用いた超高分解能モードで動作する唯一のTKDソリューション
  • 全自動・一体型の ARGUSイメージングシステム

オンアクシスTKDのメリット

  • 最高の空間分解能を実現
  • SEM による結晶方位・結晶相マッピング
  • データ品質・整合性を損なうことなく高速マッピング
  • 自動シグナル最適化機能を備えた
  • 優れたコントラストと分解能のSTEM像を高速取得、シグナルは全自動で最適化
  • 電子線ダメージを受けやすい試料も低プローブ電流で分析

関連資料と出版物

スペックシート