QUANTAX EBSD
With eWARP
Enter a new era of EBSD
QUANTAX EBSD - 그 어느 때보다 빠르고 민감한 EBSD
QUANTAX EBSD는 EBSD 검출기와 ESPRIT 소프트웨어를 포함한 주사 전자 현미경(SEM)을 위한 완벽한 분석 솔루션입니다.
QUANTAX EBSD는 다양한 검출기 옵션과 함께 작동하며, 최근에는 가장 빠르고 신호 효율이 제일 높은 EBSD 검출기의 혁신적인 eWARP 검출기가 출시되었습니다.
eWARP는 처음부터 EBSD를 염두에 두고 설계된 픽셀화된 센서로 구동되는 최초의 검출기입니다. 이는 센서의 넓은 영역 픽셀 및 CMOS 기술과 함께 eWARP를 가장 빠르고 신호 효율이 가장 높은 EBSD 검출기로 만들어 줍니다.
eWARP과 ESPRIT 분석 소프트웨어 제품군은 전례 없는 수준의 분석 성능을 제공합니다. 또한 수집된 데이터는 EDS를 이용한 원소 매핑과 같은 다른 미세 분석 기술과 쉽게 통합할 수 있습니다.
QUANTAX EBSD용 검출기
QUANTAX EBSD용 eWARP 검출기를 보여주는 이미지. 검출기 헤드에서 사각형 모양의 WARP 검출기를 명확하게 볼 수 있습니다.
당사의 포트폴리오에는 직접 전자 검출(DED)을 위한 새롭고 혁신적인 eWARP 검출기와 On-Axis TKD용 OPTIMUS 2 검출기 헤드가 포함된 eFlash 및 FSE/BSE 이미지용 ARGUS™가 포함되어 있습니다.
eWARP가 탑재된 QUANTAX EBSD - EBSD의 새로운 시대로의 진입
eWARP 검출기가 장착된 QUANTAX EBSD는 이전의 EBSD로 달성할 수 있는 한계를 뛰어넘습니다.
Ultra-Fast Measurements with Low Beam Requirements: High Productivity and High Resolution
eWARP는 최대 속도인 초당 14,400 패턴으로 사용하더라도 전례 없는 신호 효율 덕분에 10kV 가속 전압과 12nA 빔 전류 등 적당한 전자 빔 설정만 필요합니다.
이러한 낮은 빔 조건에서 생성된 패턴은 99% 이상의 인덱싱 비율로 ESPRIT 소프트웨어 제품군에서 분석할 수 있을 만큼 높은 품질을 제공합니다.
20kV에서 얻은 기존 EBSD 맵과 비교하면 가속 전압이 감소하여 공간 해상도가 두 배 향상됩니다. 즉, eWARP를 사용하면 최소 25nm 해상도와 뛰어난 인덱싱 속도로 EBSD 매핑을 초고속으로 수행할 수 있습니다.
eWARP가 제공하는 놀라운 속도와 공간 해상도는 대부분의 EBSD 애플리케이션에 큰 영향을 미칩니다. 특히 대면적 매핑, 3D EBSD 및 현장 실험은 획기적인 발전을 경험하게 될 것입니다.
그림 2: 10kV 및 12nA에서 측정한 니켈 초합금 샘플. 검은색 프레임은 그림 3의 맵 영역을 나타냅니다.
속도: 14,429fps, 맵 크기: 7.6M픽셀,
10kV가 새로운 기준: 향상된 통계와 공간 해상도
eWARP는 우수한 신호 효율성 덕분에 저전압(low-kV) EBSD를 단점 없이 구현할 수 있으며, 이는 공간 해상도와 지수 결정 품질에서 전례 없는 개선을 가져옵니다. 이러한 혁신은 이전에는 접근이 어려웠던 분야와 재료에서 EBSD를 정량적 분석 도구로 활용할 수 있도록 합니다.
배터리 재료 연구 및 생산은 EBSD가 상당한 잠재력을 보여주는 신흥 분야입니다. 결정립 크기, 형태, 그리고 고각 경계면의 비율은 배터리 성능 요인인 용량, 충전 속도, 수명, 안전성 등에 영향을 미칩니다.
그림 4는 Li-Ni-Co-Mn(NCM) 배터리의 대면적 방향성 맵핑 결과를 보여줍니다. 이 맵핑에는 약 12,000개의 입자가 포함되어 있습니다. 그림 4의 삽입도는 NCM 양극 입자의 미세 구조를 상세히 보여줍니다.
그림 4: 상단 - 10 kV 및 12 nA에서 측정된 NCM (Ni-Co-Mn) 배터리의 고해상도 EBSD 결과.
속도: 3,300 fps, 스텝 크기: 25 nm, 맵핑 크기: 3.8 M픽셀, 맵핑 시간: 19:20 분
하단 - 양극 재료의 단일 입자에 해당하는 입자 크기 분포 히스토그램 (삽입). 이 입자는 평균 직경 크기 428 nm의 1,000개 이상의 입자를 포함합니다.
20 nm 해상도: 어려운 재료의 초미세 결정 구조 분석
10 kV EBSD의 주요 장점은 강철 및 티타늄 합금의 마르텐사이트 구조 특성 분석에서 특히 두드러집니다. 낮은 가속 전압은 상호작용 부피를 최소화하여 공간 해상도와 키쿠치 패턴의 대비를 모두 개선합니다. 더 명확하게 보이는 밴드(bands)는 정확한 지수 지정(indexing) 확률을 높여 데이터 품질을 향상시키며, 이는 EBSD 결과와 재료 특성 간의 성공적인 상관 관계 분석에 필수적입니다.
그림 5는 전통적인 기계적 연마 방법으로 준비된 마르텐사이트 스테인리스 강철 샘플에서 얻은 EBSD 데이터를 보여줍니다. 패턴 품질 맵핑(상단)은 20 nm 해상도의 전형적인 마르텐사이트 판 구조를 드러냅니다. 대응하는 결정 방향 맵핑(하단)은 데이터 필터링 없이 원본 데이터에서 높은 지수 지정 품질을 명확히 보여줍니다.
증강형 ARGUS™ 시스템: FSE/BSE 이미징용 초고속, 초고해상도 미세분석
증강형 ARGUS™ 시스템: FSE/BSE 이미징용 초고속, 초고해상도 미세분석
증강된 ARGUS™ 이미징 시스템은 다양한 핵심 기능과 이점을 제공합니다:
• 초고속 FSE/BSE 이미징
• 새로운 가상 FSE 이미징
• 방향, 토포그래픽 및 위상 대비
• 3초 만에 1메가픽셀
• 동시에 5개의 이미지 획득
• 색상 코딩 또는 그레이스케일
• 현장 실험 중 자동 연속 획득에 이상적
eWARP의 특허받은 비닝 기술은 새로운 ARGUS™ 이미징 시스템의 핵심으로, 초당 최대 350,000 픽셀의 초고속 FSE 이미징을 가능하게 하며, 원본 해상도 모드 대비 픽셀당 80배 더 많은 신호를 제공합니다. 이는 더 빠르고 높은 품질의 FSE 이미지를 생성합니다(그림 7 참조).
또한 ESPRIT은 EBSD 매핑 중 속도나 신호 무결성을 저하시키지 않고 가상 전방 산란 전자(VFSE) 이미지를 자동으로 생성하는 기능을 포함합니다. 그림 7은 이중 구조 스테인리스 강철에서 획득한 5개의 VFSE 이미지 세트를 보여줍니다.
그림 7: 이중 스테인리스 강철 시료의 방향과 지형 대비를 보여주는 VFSE 이미지.
각 이미지는 센서의 다른 영역에서 생성되었습니다.
ESPRIT 소프트웨어 - 초고속 패턴 처리, 후처리 및 EDS 통합
ESPRIT는 Bruker의 직관적인 마이크로구조 및 원소 분석용 소프트웨어입니다. EBSD 분석의 심층적인 기능을 제공하는 것 외에도, ESPRIT는 EDS에서 얻은 원소 데이터를 통합할 수 있습니다.
운영상의 이점: 가동 시간 증가 및 현장 업그레이드
현장 펌웨어 업그레이드:
- 성능 향상
- 사용자 경험 개선
검출기 모니터링을 통한 예측 유지보수 (고객 동의 시)
현장 센서 모듈 교체를 통해 가동 시간 극대화
10 kV에서의 EBSD 매핑을 새로운 표준으로 도입 – 방사선 손상 방지
그림 9: QUANTAX EBSD용 eWARP 검출기는 가동 중지 시간을 줄이는 데 도움을 줄 수 있으며, 현장에서 최신 기술로 업그레이드 가능합니다.
전자 후방 산란 회절 분석의 응용
QUANTAX EBSD는 eWARP 검출기와 함께 초고속, 저-kV EBSD를 비롯해 FSE/BSE 이미징 및On-Axis TKD 솔루션에 이르는 다양한 미세분석 응용 분야에 적용 가능합니다.
eWARP - EBSD 기술의 새로운 시대의 시작
이 입문 웹세미나에서 eWARP를 만나보세요.
Bruker의 독특한 센서 기술인 eWARP를 가장 빠르고 신호 효율이 높은 EBSD 검출기로 만드는 방식을 알아보고, 다양한 응용 분야에서 이 기술이 실제로 어떻게 적용되는지 확인해 보세요.
자료 및 출판물
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Application Notes
Spec Sheets
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