전자 현미경 분석기

QUANTAX EBSD

최고 성능을 위한 On-axis TKD

최상의 공간 분해능

낮은 전류 사용

1.5
nm
효과적인 공간 분해능
On-axis TKD는 최적의 기하학 샘플 검출기로 최고의 성능을 제공합니다.
2
nA
필요한 전류량
On-axis TKD는 속도와 데이터 품질에 영향을 주지 않으면서 낮은 전류로 측정이 가능합니다.
125,000
pps
신속한 FSE, BSE 및 STEM 이미지 획득
ARGUS 이미징 시스템을 통해 몇 초 사이에 고대비, 저소음 이미징이 가능합니다.

최상의 공간 분해능을 가진 Nano material Mapping의 방향성

OPTIMUS 2 검출기 헤드가 장착된 QUANTAX EBSD 시스템은 SEM에서 나노 물질을 분석하는데 가장 적합한 솔루션입니다. 이유는 아래와 같습니다.

  • 최대 1.5nm의 최고의 공간 분해능 제공
  • 속도 및 데이터 품질을 저하시키지 않으면서 낮은 전류로 측정가능
  • 액침 렌즈 기술을 사용하는 초고해상도 SEM 모드에서 작동하는
    유일한 TKD 솔루션
  • 완전 자동 내장 ARGUS 이미징 시스템

On-axis TKD가 필요한 이유

GST(Ge-Sb-Te) 박막 샘플 이미지의 DF를 게시할 수 있도록 허락해 주신 스탠포드 대학의 아론 린덴버그 씨와 그의 그룹에 감사드립니다.
  • 최고의 공간 분해능 달성
  • SEM의 방향 및 위상 mapping 가능
  • 데이터 품질을 손상시키지 않고 빠른 매핑 가능
  • 빠른 속도와 자동 신호 최적화를 통해 고대비, 고해상도의 이미지와 같은 STEM 획득 가능
  • 낮은전류를 사용하여 빔에 민감한 재료 분석

리소스 및 간행물