RAMANdrive pour l'analyse de Wafer
RAMANdrive est un microscope Raman spécialisé conçu pour l'analyse ultra-rapide et haute résolution des wafers, équipé d'une platine dédiée de 300 mm pour garantir une stabilité et une précision exceptionnelles sur l'ensemble du wafer.
Navigation précise
Résultats instantanés
L’analyse des wafers est devenue beaucoup plus simple.
L'innovation dans le domaine des semi-conducteurs exige précision et exactitude à chaque étape de l'analyse. RAMANdrive propose une microscopie Raman avancée et rapide, spécialement conçue pour soutenir et accélérer les avancées dans le développement des semi-conducteurs.
Découvrez le flux de travail RAMANdrive
Le Nanophoton RAMANdrive est conçu pour gagner du temps et améliorer l'efficacité. Il vous suffit de télécharger vos données depuis votre outil d'inspection habituel : RAMANdrive identifie vos zones d'intérêt et déplace automatiquement la plaquette aux positions souhaitées pour une analyse détaillée.
Système de navigation par étapes avec la plus haute précision
Le système de navigation améliore l'efficacité du logiciel RAMANdrive, permettant des flux de travail simplifiés et rapides. Téléchargez les données directement depuis votre outil d'inspection et RAMANdrive guidera automatiquement le wafer avec précision vers les positions spécifiées pour une analyse détaillée. La platine déplace le wafer avec une grande précision et garantit un accès sûr et fiable à toutes les zones d'intérêt.
Cette fonctionnalité est également adaptable à d'autres types d'échantillons.
Caractéristiques principales de la platine pour le wafer de 300 mm :
- Compatibilité avec les grands wafers : prend en charge les wafers jusqu'à 300 mm, solidement maintenues en place par des lignes de vide connectées à de petits canaux.
- Accessibilité complète de la plaquette : permet au laser d'accéder à toute la surface du wafer.
- Logement pour des échantillons de grande taille : un canal profond dans la platine permet l'analyse d'échantillons plus hauts.
Bridage par le vide pour maintenir le wafer en place.
Broches de sécurité pour le placement des wafers.
Canal profond pour petits échantillons.
Table motorisée pour wafer de 300 mm précise et stable
Le système de navigation de la platine est un élément essentiel du logiciel RAMANdrive, conçu pour gagner du temps et améliorer l'efficacité. Des wafers de grande taille, jusqu'à 300 mm, peuvent être placés sur la platine. Pour l'analyse, il suffit de télécharger vos données depuis votre outil d'inspection habituel : RAMANdrive identifie vos zones d'intérêt et déplace automatiquement le wafer aux positions souhaitées pour une analyse détaillée. Cette technologie fonctionne même avec d'autres échantillons, sur demande.
Imagerie Raman haute performance
La technologie avancée d'illumination par ligne laser de Nanophoton permet une acquisition rapide des données, capturant 400 spectres en une seule illumination laser. Cette technique scanne votre échantillon sans le déplacer, collectant des centaines de milliers de points de données en quelques minutes pour générer une image Raman complète de la zone ciblée. Le système maintient une vitesse de pointe sans compromettre la résolution spatiale et spectrale, essentielle pour la détection des particules inférieures à 100 nm et pour l'analyse des contraintes ou des polytypes.
AreaFlashTM pour une couverture laser complète en imagerie Raman
Pour les applications d'imagerie Raman de grande surface et basse résolution, comme l'analyse de wafers, la taille du spot laser utilisé est généralement bien inférieure au pas de mesure. Par conséquent, les méthodes conventionnelles de cartographie point par point sont insuffisantes, car elles ne permettent pas d'obtenir une vue d'ensemble complète et représentative de la zone analysée. Pour pallier cette limitation, la technique AreaFlash agrandit le spot laser, garantissant ainsi que l'excitation couvre efficacement toute la zone de mesure, produisant ainsi une image Raman complète et représentative.
Exemple : détermination de la distribution des polytypes SiC
L'analyse de la distribution des polytypes du SiC en est un exemple illustratif. La fonction de prévisualisation d'AreaFlash met rapidement en évidence les variations de la structure cristalline. L'utilisation d'une résolution réduite lors de l'évaluation initiale permet de réaliser des économies de temps et de main-d'œuvre significatives. La vue d'ensemble obtenue fournit des points de départ clairs pour des analyses ultérieures plus détaillées. Globalement, cette approche offre un équilibre efficace entre une évaluation préliminaire rapide et une analyse complète et approfondie.
Étalonnage automatique du nombre d'ondes avec référence interne
L'étalonnage automatique peut être effectué avant ou pendant la mesure. Le système RAMANdrive dispose d'une option de référence interne, qui utilise un échantillon de quartz motorisé inséré dans le trajet optique sous contrôle logiciel. Avec cet échantillon dans le trajet optique, le pic de référence du quartz à 464 cm⁻¹ apparaît dans toutes les mesures. En calculant la différence entre ce pic de quartz et le pic cible (par exemple, le pic de silicium à 520 cm⁻¹), toutes les erreurs systématiques, y compris les écarts d'étalonnage typiques d'environ 0.1 cm⁻¹—peuvent être éliminées en temps réel.
Applications typiques de RAMANdrive
Analyse Raman des particules de moins de 100 nm
Grâce à la haute résolution spatiale et à la microscopie en champ sombre de haute qualité de RAMANdrive, les particules de moins de 100 nm sont facilement identifiées. Le faisceau laser focalisé, guidé par des miroirs galvanométriques, produit un spectre à rapport signal/bruit élevé, permettant une identification précise grâce à des recherches en bibliothèque.
Visualisation de la répartition des contraintes
L'optique confocale permet de profiler la profondeur d'échantillons transparents tels que le SiC et le GaN. Sur un wafer de SiC, par exemple, l'imagerie Raman en coupe transversale met en évidence la répartition des contraintes et la réduction des contraintes obtenue par polissage.
Imagerie par photoluminescence (PL)
L'imagerie PL, utilisant un laser UV de 325 nm, révèle la distribution des défauts, des impuretés et du GaN lui-même. Le laser UV peut dépasser la bande interdite pour détecter les spectres PL dans des points InGaN de tailles et de compositions variées. Sa faible profondeur de pénétration le rend idéal pour l'analyse Raman des caractéristiques de surface.
Spécifications RAMANdrive
| Spatial Resolution | 350 nm in X, 500 nm in Y; 1 µm in Z |
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| Objective Lenses | 5x, 10x, 20x, 50x, 100x, Darkfield | |
| Spectral Resolution | <1.2 cm-1 (depends on grating) |
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| Stage Details | 300 * 300 * 35 mm XYZ-motorized stage | |
| Calibration |
Auto-calibration based on standard lamp and sample | |
| Alignment | Auto-alignment of optical path | |
| Laser Safety | Laser safety class I door with interlock |
