ウエハー解析を革新する RAMANdrive

Nanophoton RAMANdriveは、解析時間の短縮と作業効率の向上を目的に設計されています。検査装置で取得した座標データをアップロードすることで、関心領域を特定し、ウエハーを指定位置へ移動させて詳細な解析を行うことが可能です。

ステージナビゲーションシステムは、RAMANdriveの解析プロセスを効率化し、作業の流れをスムーズかつ短時間で進めることを可能にします。検査装置から取得した座標データを直接アップロードすることで、RAMANdriveが、ウエハーを指定位置に移動させ、関心領域の詳細な解析が行えます。ステージは高い位置決め精度を持ち、すべての測定領域に安全かつ確実にアクセス可能です。この機能は、ウエハー以外のサンプルにも柔軟に対応できます。

300 mmウエハーステージの主な特長：

• 大型ウエハー対応：最大300 mmまでのウエハーに対応し、ステージに付属した真空チャックによってしっかりと固定されます。
• 全面測定可能：レーザーがウエハー表面全ての領域に照射可能な設計です。
• 厚みのあるサンプルへの対応：ステージには厚みのあるサンプルにも対応できる空間があり、厚みのあるウエハー以外のサンプルでも問題なく測定可能です。

RAMANdriveのステージナビゲーションシステムは、解析工程の効率化と時間短縮を実現する、ソフトウェアの重要な機能です。ステージには最大300 mmまでの大型ウエハーを設置可能です。解析時には、既存の検査装置から取得した座標データをアップロードすることで、RAMANdriveが関心領域を自動で特定し、ウエハーを指定位置へ移動させて詳細な分析が可能です。この機能は、ウエハー以外のサンプルにも柔軟に対応可能です。

ナノフォトンの先進的なレーザーライン照射技術により、1度のレーザー照射で最大400スペクトルを同時に取得可能です。この手法ではサンプルを動かすことなく、数分で数十万点のデータを収集し、対象領域の詳細なラマンイメージを生成します。本システムは、高い空間分解能と波数分解能を維持したまま高速な測定を実現でき、100nm未満の微細粒子の検出や、応力分布・結晶多形の解析において高い有用性を発揮します。

ウエハー解析などの広範囲・低解像度のラマンイメージングでは、通常、レーザースポットのサイズが測定点間のステップサイズよりもはるかに小さく、従来のポイントごとのマッピング手法では解析領域全体を網羅的かつ、代表的な特徴を正しく捉えることが困難です。AreaFlash™技術はこの課題を解決するためにレーザースポットを拡大し、励起光が測定領域全体を効果的にカバーすることで、領域全体の代表的な特徴を漏れなく反映したラマンイメージを取得します。

SiC（炭化ケイ素）の多形分布解析は、AreaFlash™の有用性を示す代表的な事例です。AreaFlash™の機能を活用することで、結晶構造の違いを迅速に可視化できます。初期評価では解像度を意図的に下げることで、測定時間と作業負荷を大幅に削減可能です。この手法により、広範囲の構造的ばらつきを短時間で把握でき、詳細解析に向けた明確な出発点を得ることができます。結果として、迅速な予備評価と高精度な詳細解析のバランスを効率的に実現することが可能です。

RAMANシリーズのシステムでは、測定の開始前や測定中の一時停止時に、自動で波数キャリブレーションを実行することができます。また、オプションの内部参照試料機能として、ソフトウェア制御により、モーター駆動式の石英サンプルを光路に挿入する仕組みが搭載可能です。この石英サンプルが光路に配置されることにより、464cm^-1に位置する石英の参照ピークがすべての測定に現れます。この参照ピークと、例えば520cm^-1に位置するシリコンピークとの波数差をリアルタイムに計算することで、装置の構造的な要因や環境変化などに起因する約0.1cm^-1程度のわずかな波数のずれを含む誤差をその場で補正することが可能になります。