RAMANdrive显微镜：专为晶圆分析设计
精准定位
即时结果
晶圆分析，现已化繁为简。
半导体的创新离不开每个阶段的精密准确分析。RAMANdrive 搭载先进的快速拉曼显微技术，专为推动半导体研发突破而设计，加速创新进程。
体验 RAMANdrive工作流程
Nanophoton RAMANdrive 专为节省时间提升效率而设计。只需从常规检测工具上传数据，RAMANdrive 便会自动识别关注区域，并将晶圆移至指定位置进行详细分析。
超高精度载物台导航系统
载物台导航系统可提升 RAMANdrive 软件的运行效率，工作流程更高效、更省事。直接导入检测设备数据后，RAMANdrive 会自动将晶圆精准引导至指定位置进行详细分析。载物台以极高的精度移动晶圆，确保安全、可靠地检测所有关注区域。该功能同样适用于其他类型的样品。
300 毫米晶圆载物台核心特性：
- 兼容大尺寸晶圆：支持最大 300 mm晶圆，通过连接至细小通道的真空管线稳稳固定。
- 整片晶圆全覆盖：激光可覆盖整个晶圆表面。
- 适配厚样品：载物台深槽设计满足较厚样品的分析需求。
真空管线用于固定晶圆。
定位销确保晶圆放置稳固。
深槽设计适配小型样品。
精准稳定的 300 毫米晶圆载物台
载物台导航系统是 RAMANdrive 软件的核心部分，节省时间提升效率。该载物台可放置最大 300 毫米的大尺寸晶圆。分析时，只需从常规检测设备上传数据，RAMANdrive 便会识别关注区域，并自动将晶圆移至指定位置进行详细分析。该技术也可满足其他样品的分析需求。
高性能拉曼成像技术
Nanophoton的先进线激光照明技术可实现数据快速采集，一次曝光即可得到400个光谱。该技术无需移动样品即可完成扫描，在几分钟内收集数十万像素，生成目标区域的拉曼图像。在实现最高成像速度的同时，不损失任何光谱质量和空间分辨率 —— 这对于检测小于 100 nm的颗粒，应力分析和多型分析至关重要。
AreaFlash™技术：实现拉曼成像的全激光覆盖
在大面积、低空间分辨率拉曼成像应用（如晶圆分析）中，所用激光光斑尺寸通常远小于测量点之间的步长。因此，传统的逐点扫描成像方法存在不足 —— 无法全面、有代表性地反映分析区域的概况。为克服这一局限，AreaFlash 技术通过扩大激光光斑，确保激发光有效覆盖整个测量区域，从而获得完整且具代表性的拉曼图像。
示例：测定碳化硅（SiC）多型分布
一个典型案例是碳化硅多型体分布分析。在此应用中，AreaFlash 预览功能可快速识别晶体结构的差异。在初始评估阶段采用较低空间分辨率，显著节省时间与人力成本。生成的概览图像可以为后续更精细的研究提供依据。总而言之，这种方法在初步快速评估与全面深入分析之间实现了高效平衡。
基于内标物的波数自动校准
自动校准可在测量前或测量间隙进行。RAMANdrive具备内置参考功能，通过软件控制将石英样品插入光路。当该样品处于光路中时，464 cm⁻¹ 处的石英参考峰将出现在所有测量结果中。通过计算该石英峰与目标峰（例如 520 cm⁻¹ 处的硅峰）之间的差值，可实时消除所有系统误差 —— 包括约 0.1 cm⁻¹ 的典型校准偏差。
RAMANdrive 的典型应用
100 nm以下颗粒的拉曼分析
借助 RAMANdrive 的高空间分辨率与高质量暗场显微技术，可轻松识别 100 nm以下的颗粒。由振镜引导的聚焦激光束能产生高信噪比光谱，通过谱库检索即可实现精准识别。
应力分布可视化
共聚焦光学系统可对碳化硅（SiC）、氮化镓（GaN）等透明样品进行深度剖析。例如，在碳化硅晶圆中，横截面的拉曼成像能清晰呈现应力分布，并直观展示通过抛光工艺实现的应力缓解效果。
光致发光（PL）成像
采用 325 nm紫外激光的 PL 成像技术，可揭示缺陷、杂质及氮化镓自身的分布情况。紫外激光能突破禁带宽度，检测不同尺寸与组分的铟镓氮（InGaN）量子点的 PL 光谱。其较浅的穿透深度使其成为表面特征拉曼分析的理想选择。
RAMANdrive 技术规格
| Spatial Resolution | 350 nm in X, 500 nm in Y; 1 µm in Z |
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| Objective Lenses | 5x, 10x, 20x, 50x, 100x, Darkfield | |
| Spectral Resolution | <1.2 cm-1 (depends on grating) |
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| Stage Details | 300 * 300 * 35 mm XYZ-motorized stage | |
| Calibration |
Auto-calibration based on standard lamp and sample | |
| Alignment | Auto-alignment of optical path | |
| Laser Safety | Laser safety class I door with interlock |
