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Applications microélectroniques

Des mesures précises et reproductibles en quelques secondes améliorent la semi-production

En raison de la popularité universelle des appareils électroniques, de communication et de divertissement, nous constatons une énorme croissance dans l'utilisation des semi-conducteurs élémentaires et composés. Les fabricants ont besoin d'une métrologie extrêmement précise, reproductible et flexible pour assurer leur compétitivité. Bruker fournit une gamme de solutions optiques 3D offrant des performances rapides, non destructives et automatisées pour la métrologie de dimension critique (CD) 3D pour la fabrication de semi-conducteurs / MEMS et d'emballages IC.

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Électronique flexible et imprimée


L'électronique imprimée révolutionne la fabrication de l'électronique grand public, de la logique / mémoire, des OLED, des écrans, des capteurs, de l'identification par radiofréquence (RFID), des écrans flexibles, du papier électronique, des antennes grand format, des même les soins de santé. La technologie avancée de profilage optique 3D de Bruker permet, dans un seul outil de caractérisation, de mesurer sans perturbation des membranes flexibles avec un débit élevé et une précision de résolution verticale sub-nanométrique.

SOM Applications medical Felxible and Printed Electronics
SOM Applications medical LCDs Displays and Touch Panels2

LCD, écrans et panneaux tactiles


Dans les marchés en plein essor des écrans tactiles et des écrans, une métrologie de haute précision est nécessaire pour garantir la qualité des produits finis livrés aux millions de personnes qui les achètent et les utilisent. Les produits de microscope optique 3D de Bruker fournissent une métrologie sans contact précise pour les hauteurs de couches d'encre capacitives et les caractéristiques ITO, ainsi que la métrologie de l'épaisseur de film pour les besoins de fabrication des écrans tactiles et des écrans.


Diodes électroluminescentes (DEL)


Au fur et à mesure que les fabricants se tournent vers de plus grandes plaquettes de substrat, le besoin accru de métrologie pour surveiller les paramètres dimensionnels clés des substrats de saphir à motifs (PSS) est évident. Les systèmes de microscopie optique 3D de Bruker mesurent PSS pour la R & D de nouvelle génération et la production de diodes électroluminescentes à haute luminosité (HB-LED) et de diodes électroluminescentes organiques (OLED). Ils fournissent une caractérisation précise de la hauteur, de la hauteur et du diamètre des fonctions PSS, et les mesures ne prennent que quelques secondes par site.

SOM Applications medical Light Emitting Diodes LEDs
SOM Applications medical Microelectromechanical Systems MEMS

Systèmes microélectromécaniques (MEMS)


Les micromachines ont un impact quotidien sur nos vies, allant des fonctions essentielles dans les automobiles au fonctionnement des téléphones portables. Il n'est donc pas surprenant que la métrologie de précision soit devenue l'un des principaux moteurs de l'évolution constante de la technologie des systèmes microélectromécaniques (MEMS). Les microscopes optiques 3D de Bruker fournissent une métrologie sans contact précise pour un large éventail de paramètres, y compris la forme, la rugosité de la surface, les angles des parois latérales, les propriétés thermiques et bien plus encore.


Emballage de niveau de gaufrette (WLP)


La technologie d'emballage de puces IC a progressé rapidement, avec des appareils mobiles intelligents réduisant le facteur de forme; et l'informatique en nuage qui augmente les facteurs de performance, tels que la vitesse de traitement. La métrologie 2D traditionnelle n'est plus adéquate pour le développement de processus et le contrôle de l'interconnexion à travers le silicium, de la couche de redistribution, de la métallisation sous la bosse et des microbobules dans un emballage au niveau des plaquettes. Le profilage optique sans contact automatisé de Bruker fournit des informations géométriques 3D supérieures, avec une gestion personnalisée des plaquettes en ligne.

SOM Applications medical Wafer Level Packaging WLP
SOM Industrial Solar Energy2

Énergie solaire


Les diverses technologies utilisées pour la fabrication de cellules solaires avancent rapidement alors que les chercheurs et les entreprises travaillent pour améliorer l'efficacité et réduire les coûts. Les profileurs optiques 3D permettent une métrologie de surface et d'épaisseur rapide à une résolution sub-nanométrique, se complétant les uns les autres pour fournir les données nécessaires pour améliorer le développement et la production de cellules solaires. La rugosité, les hauteurs d'échelons, les largeurs de tracé, les largeurs de tracé, l'épaisseur du film et la détection des défauts aident toutes les lignes de fabrication.

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