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Capacités de métrologie PSS inégalées

Le Dimension Edge PSS avec AutoMET fournit une résolution nanométrique pour l'analyse de chaque paramètre critique pour les substrats PSS tout en collectant automatiquement cette information sur la plaquette et la plaquette à la plaquette.

Le paquet d'analyse PSS dédié de Bruker peut fournir simultanément des données sur:

  • Hauteur, largeur et hauteur
  • Angle de la paroi latérale et profil des caractéristiques
  • NOUVEAU: Identification et mesure de l'asymétrie
  • NOUVEAU: Identification de la contamination
  • NOUVEAU: identification et angle de virage
  • NOUVEAU: Identification du plan

L'analyse logicielle AutoMET intègre de nouvelles fonctionnalités de mesure

New Auto MET Software Analysis features
We have added new measurement capabilities to our AutoMET software for enhanced analysis of PSS structures.

Le Dimension Edge PSS offre une résolution de pas inférieure au micron pour répondre aux besoins de la feuille de route de fabrication des LED. Son bruit de fond <0,2 nm fournit des mesures de substrat et d'épi-rugosité nues, et offre une flexibilité d'échantillon en prenant en charge des wafers de 2 à 6 pouces.

Dimension Edge PSS closeup
Dimension Edge PSS AutoMET software and system with 9 wafer chuck.