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Un AFM avancé conçu spécifiquement pour les environnements de production

Le système Dimension FastScan Pro utilise une plate-forme à accès ouvert, des détenteurs d'échantillons multiples ou multiples et de nombreuses fonctionnalités de facilité d'utilisation pour fournir la solution de métrologie à la nanométrie à haute performance la plus souple pour les applications industrielles de QA, QC et FA. Fonctionnalités FastScan Pro:

  • Mesure automatisée de 2 pouces à 12 pouces pour demi-stockage, stockage de données et HB-LED
  • Une plate-forme fiable et éprouvée spécialement conçue pour être utilisée dans des environnements industriels
  • Le microscope offre un déplacement maximal de l'échantillon XY pour un accès complet aux gaufres de 200 mm ou à des échantillons multiples dans une zone de 200 mm de diamètre (Mandrins optionnels pour plaquettes de 300 mm)
  • Scanner FastScan 5-10x à haut débit pour la topographie, la rugosité et d'autres analyses de métrologie
  • Scanner d'icônes avec une plage de balayage de 90 μm pour des balayages plus importants et des performances topographiques de haute précision
  • Reconnaissance de motifs d'image optique et AFM avec centrage de pointe pour réaliser l'alignement nanométrique

Logiciel d'automatisation avec une facilité d'utilisation exceptionnelle et une capacité de rendement supérieure

Le nouveau logiciel de recette complète AutoMET ™ offre une métrologie rapide, automatisée, un fonctionnement simple et une adaptabilité AFM pour une capture facile des mesures critiques à la qualité nécessaires à la production.

  • Mesures automatisées sur plusieurs échantillons ou un seul grand échantillon pour la caractérisation à l'échelle nanométrique dans plusieurs emplacements
  • Reconnaissance de motif d'image optique et AFM, centrage de pointe, support de cartographie complète ou de grille et précision de positionnement d'image dans des dizaines de nanomètres
  • Écriture de recettes exhaustive mais simple pour l'utilisateur ou l'ingénieur avancé disponible pour l'utilisation en temps réel et hors ligne
  • Installation facile pour aligner l'échantillon sur les corrections de sonde et d'alignement vers l'environnement AFM
FastScan Pro Scanner head v1