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FilmTek 2000 PAR-SE Robotic Brochure [PDF]

この製品の主な機能と特長

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その他の製品、サービスについてのお問い合わせは、上 productinfo@bruker.com

すぐにBrukerの担当者と連絡を取りたい場合は、こちらの地域のオフィスがあります:

アジア: +65 6500 7288
中国: +86 10 5833 3000
ヨーロッパ: +33 172 86 61 00
日本: +81 3 3523-6361
北米: +1 805-967-1400

マルチアングル深紫外線反射率測定・エリプソメトリー装置は、複雑なデバイス構造に使用されるパターン形成された薄膜および多層膜構造の高分解能・自動インライン測定を可能にします。

- 膜厚: 0 Å – 150 µm
- 波長: 190 nm – 1700 nm
- スポット径: 50 µm（標準）

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- 膜厚: 0 Å – 150 µm
- 波長: 190 nm – 1700 nm
- スポット径: 50 µm（標準）