XFlash 6-10
高エネルギー分解能を有したEDS検出器
XFlash 6-10検出器
この新世代のEDS検出器は、シリコンドリフトタイプの電子冷却型検出器です。
XFlash® はFETを独自の技術で配置している為、取得したX線信号を非常に高い係数率で処理し、高速測定を実現しています。同時に高エネルギー分解能を有しており、高精度の元素分析を可能としました。
XFlash® 6-10 の優位点
- 優れたエネルギー分解能（Mn Kαで121 eV、C Kαで38 eV、F Kαで47 eV（CとFは参考値））
- その他仕様はMn Kα / 123、126、129 eVです
- 高パルス処理能力（取得X線処理能力）
- 広範囲元素の分析と、軽元素領域でのピーク分離能力 (Be - Am要素範囲)
- 顕微鏡像に影響を及ぼす振動源を有しておりません
- 通電後、短時間で使用可能
- 低運用コスト
- ほぼ、メンテナンスフリーで運用可能
- スリムラインチューブを有し、コンパクトな設計
- 軽量
XFlash®6-10 の得意分野
- SEMやFIB-SEM等、幅広く電子顕微鏡とコンバイン可能（超高真空ベローズ対応可能・オプション）
- 高エネルギー分解能を有し、微量元素や軽元素領域の測定に特に優位性有り