XFlash 6-100
低加速電圧、低電流条件下での元素分析に特化した最大口径検出器
XFlash 6-100検出器
元素分析を実施する際には、様々な測定条件に対応した仕様を有した検出器を用いなければなりません。XFlash® 6-100 は、低加速電圧・低電流条件下でしか元素分析が出来ない様な、電子線ダメージを著しく受けやすい試料ならびに、Cold-FEG SEMとの組み合わせで特に威力を発揮します。 この大口径100 mm2 検出器は、高立体角・高感度を実現し、これらの過酷な分析条件下でも短時間でスペクトルを取得することができます。同時にXFlash® 6-100は、その他の素子面積検出器と同様に（最大入力X線数1,500 kcps）と高X線処理能力を備えており、高速測定が可能です。EDS分析のためのユニークな検出器です。
XFlash® 6-100 の優位点
- 優れたエネルギー分解能（Mn Kαで129 eV、C Kαで57 eV、F Kαで67 eV（CとFは参考値））
- 高パルス処理能力（取得X線処理能力）
- 良い光要素と低エネルギー性能（要素範囲は、Be - Am）
- 電子微鏡像に影響を及ぼす振動源を有しておりません
- 通電後、短時間で使用可能
- 低運用コスト
- ほぼ、メンテナンスフリーで運用可能
- スリムラインチューブを有し、コンパクトな設計
- 軽量
XFlash® 6-100 の得意分野
- SEMやFIB-SEM等、幅広く電子顕微鏡とコンバイン可能（超高真空ベローズ対応可能・オプション）
- 低電流測定下でしか測定が困難な電子線ダメージを受けやすい試料の元素分析（特にCold FE SEMとの組み合わせに優位性有り）