Cu(In,Ga)Se2太陽電池のFIB/TEM薄膜試料のEDS元素マップ
Cu(In, Ga)Se2 は低コストで高効率な太陽電池材料で、すでに市販化されています。さらなる効率の向上のためには、様々な製造工程において、CIGS太陽電池の多層膜構造の組成を理解することが重要です。ここでは 、XFlash® FlatQUAD EDS検出器で測定したCIGS太陽電池のFIB/TEM薄膜のEDS元素マップをご紹介します。
CIGS太陽電池の厚さ70 nmのFIB/TEM薄膜試料のSTEM暗視野像。黄色の長方形は EDS分析を行なった領域を示しています。
CIGS太陽電池のp型光吸収層(CIGS)およびn型バッファ層(CdS)の各元素の元素マップ
CIGS太陽電池のEDS元素マップと長方形領域のスペクトル