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シリコン中の不純物分析に特化した極低温赤外分光システムです。太陽電池および電子産業向けシリコン材料の品質管理に最適化された、オールインワンシステムです。
初期生産段階でのコスト削減QCを実現する完全なシリコンインゴットでの間質酸素のFTIR定量化に最適化されたインラインシステム。