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シリコン中の不純物分析に特化した極低温赤外分光システムです。太陽電池および電子産業向けシリコン材料の品質管理に最適化された、オールインワンシステムです。
シリコン中の格子間酸素濃度分析に最適化されたアトライン FT-IR システムです。インゴットをそのまま分析するため、ウェーハ製造工程の初期段階で効率的な品質管理が可能となり、コスト削減を実現します。
