FilmTek SE
シングルポイント測定用の回転補償子設計の分光エリプソメーターは、幅広いアプリケーションに対して簡単で正確な薄膜特性評価を提供します。
FilmTek SE
弊社の「SE（自動卓上分光エリプソメーター）」製品ラインの基本モデルである FilmTek™ SEは、さまざまな薄膜および極薄膜サンプルについて、高精度で再現性の高い測定を迅速かつ容易に行うための合理化されたオプションをユーザーに提供します。
FilmTek SEは、単一点測定に対応した卓上型分光エリプソメーターです。オプションとして、手動または自動のXYステージを搭載できます。ボタンをクリックするだけで、数千の波長データを数秒で同時収集でき、統合されたオートフォーカス機能により、従来のエリプソメーターで必要とされる煩雑なサンプルアライメント作業が不要になります。さらに、当社独自の分散式とフィルムモデリングソフトウェアにより、データ処理が容易になり、正確かつ精密なリアルタイム結果を得ることができます。
ベストバリュー
基本プラットフォーム
幅広いサンプルに対して、低コストで高性能なフィルム計測を提供します
最適化設計
シンプル構成
追加モジュールやオプションなしで、業界最高クラスの速度と精度を実現します
使いやすい
システムとソフトウェア
経験のレベルを問わず、ユーザーが最高品質のエリプソメトリー測定データを収集できます
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測定機能
以下の項目を同時に測定可能：
- 多層膜の厚さ
- 屈折率 [ n(λ) ]
- 消衰（吸収）係数 [ k(λ) ]
- エネルギーバンドギャップ [ Eg ]
システム構成
標準：
- 回転補償子設計による分光エリプソメトリー（390 nm - 950 nm）
- オートフォーカス機能付き自動ステージ
- 極薄膜の測定に最適（自然酸化膜で0.03Åの再現性）
- ほぼすべての予算に対応する手頃な価格
- 先進的な材料モデリングソフトウェア
- 高度で広範囲の最適化アルゴリズムを備えたブルカーの広範な材料モデル
活用分野
1Å未満から約150µmまでの厚さの半透明フィルムをほぼすべて、高精度で測定できます。
特に学術研究や研究開発の環境では、お客様の独自のニーズを満たすために、柔軟にハードウェアとソフトウェアを変更することができます。
代表的な応用分野には以下が含まれます :
- 半導体および誘電体材料
- 多層光学コーティング
- 光学反射防止コーティング
- 金属薄膜
- 太陽電池
技術仕様
| 膜厚範囲 | 0 Å～50 µm |
|---|---|
| 膜厚精度 | ±1.0 Å（NISTトレーサブル標準酸化膜 100 Å から 1 µm) |
| スペクトル範囲 | 380 nm～950 nm |
| 測定スポットサイズ | 3 mm |
| サンプルサイズ | 2 mm ～ 300 mm（標準150 mm） |
| スペクトル分解能 | 0.3 nm |
| 光源 | 安定化ハロゲンランプ（寿命10,000時間） |
| 検出器タイプ | 2048ピクセルソニーリニアCCDアレイ |
| コンピュータ | Windows™ 11オペレーティングシステム搭載のマルチコアプロセッサ |
| 測定時間 | 1箇所あたり約2秒（例：酸化膜） |
性能仕様
| 膜種 | 膜厚 | 測定パラメータ | 精度(1σ) |
|---|---|---|---|
| Oxide / Si | 0 - 1000 Å | t | 0.03 Å |
| 1000 - 500,000 Å | t | 0.005% | |
| 1000 Å | t , n | 0.2 Å / 0.0001 | |
| 15,000 Å | t , n | 0.5 Å / 0.0001 | |
| 150.000 Å | t , n | 1.5 Å / 0.00001 | |
| Nitride / Si | 200 - 10,000 Å | t | 0.02% |
| 500 - 10,000 Å | t , n | 0.05% / 0.0005 | |
| Photoresist / Si | 200 - 10,000 Å | t | 0.02% |
| 500 - 10,000 Å | t , n | 0.05% / 0.0002 | |
| Polysilicon / Oxide / Si | 200 - 10,000 Å | t Poly , t Oxide | 0.2 Å / 0.1 Å |
| 500 - 10,000 Å | t Poly , t Oxide | 0.2 Å / 0.0005 |
どのようなお手伝いが必要ですか？
ブルカーはお客様と協力し、実世界のアプリケーション課題を解決します。次世代技術を開発し、お客様が適切なシステムとアクセサリーを選択できるようサポートします。このパートナーシップは、機器販売後もトレーニングや延長サービスを通じて継続します。
高度な訓練を受けたサポートエンジニア、アプリケーションサイエンティスト、専門知識を持つエキスパートからなるチームが、システムサービスやアップグレード、アプリケーションサポート、トレーニングを通じて、お客様の生産性最大化に全力を尽くします。