ラマン分光法
ラマン分光法とナノメカニカル評価を組み合わせた複合解析
局所的な機械特性と材料構造の関係を解明
シリコン圧痕周辺のラマンマップ。押込みによる材料構造の変化や、材料内部に残った応力の分布を示しています。
ラマン分光法とナノインデンテーションを直接組み合わせることで、ナノスケールにおける機械特性と化学構造を相関させた評価が可能になります。
ラマン分光法で取得される振動スペクトルは、材料の化学状態や結晶構造を反映した指紋情報として利用できます。一方、ナノインデンテーションによって得られる荷重-変位曲線は、材料の機械特性を反映した指紋情報として活用できます。
ナノインデンテーション測定前にラマンマッピングを実施することで、化学構造に基づいた高精度な測定位置決めが可能になります。また、ナノメカニカル評価後に取得したラマンマップからは、塑性変形に伴う残留応力分布や相変化などの情報を取得できます。
さらに、ラマンマッピングは、In-Situ SPMイメージング、弾性率マッピング、導電性評価などの各種測定結果と組み合わせることで、材料を多角的に解析するための有効な手法となります。