SI BrickScan

SiBrickScan (SBS) は、インゴット中の格子間酸素を非破壊で定量出来る新たなシステムです。特にインゴットの長軸方向の酸素濃度プロファイルをダイレクトに測定できるため、分析の効率が飛躍的に向上します。

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品質を極める

シリコンインゴット中の酸素傾度は、たとえばシリコンの結晶化プロセス管理や欠陥原料の判別等に有用な情報です。SBS により対象物の品質が最適化され、なおかつ不完全ウェハーが削減されるので研究費用を抑えられます。個々のインゴットをランダムにサンプリングすることで、試料準備の手間が省け、必要な情報をより速く取得することが可能となります。

最高感度FT-IR

赤外分光法 (ASTM/SEMI 1188) による格子間酸素定量は良く知られている分析法ですが、試料は低mm 域の薄いシリコンに限られていました。SiBrickScan (SBS) はこのハードルを乗り越え、インゴットの長軸方向の酸素濃度プロファイルを、従来の様に薄い試料を準備する手間や破壊すること無くダイレクトに測定できる、商業化されたものとしては史上初のシステムです。SBS は、ブルカーが誇る最高のFT-IR テクノロジーにより、赤外倍音吸収帯をスマートに活用しています。

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様々なインゴットに対応するSBS

SBS は、次の試料に対応しています:

- Poly or mono crystalline standard square PV ingots (cross section ~156 x 156 mm2)

- Cylindric Si ingots e.g. with ~150 mm (6") or ~200 mm (8") diameter

上記以外の直径・形状に対応するシステムも対応可能な場合がありますので、まずはお問合せください。

汎用性・堅牢性に優れたデザイン

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堅牢で正確なリニア駆動方式を採用しているため、構造・インゴットタイプにより空間酸素分解能12mm (インゴット軸方向) までのインゴット測定位置を取得可能です。信頼性と安全性の高い連結メカニズムにより、オペレータが稼働中に部品と接触するリスクはありません。

直感的で使いやすいソフトウェア

SiBrickScan (SBS) には、研究現場における使用を想定した、直観的に操作いただけるグラフィック・ユーザーインターフェースが備わっています。生産現場の方々も使いやすいように、インゴット読込操作→分析法選択→測定開始というように、数分以内で操作できるようにシンプルに設計されています。データ評価を含め、測定自体は自動で行われます。

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革新的な高感度ビームパス

独自で革新的な赤外ビームパスにより、超高感度の測定が可能です。装置には予め高品質の標準試料が備わっているので、試料測定が自動的に実行されます。

検出器オプション

SBS は、液体窒素により独立して作動するスターリング冷却検出器タイプもお選びいただけます。オプションで、自動リフィル装置装備の液体窒素冷却検出器をお選びいただくことも可能です。

薄型試料準備不要の格子間酸素定量

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SiBrickScan は、シリコンインゴット中の格子間酸素を最大長さ500mm まで分析できます。得られた貴重な情報により、結晶化プロセスの最適化、切断前の各インゴットの定性分析が可能となります。

ASTM/SEMI 1188 連携の高品質キャリブレーション

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SBS 酸素評価は、ASTM/SEMI 1188 と相互リンクしたキャリブレーションを使用しています。両手法はほぼ完璧に連携しているので、格子間酸素濃度を最高精度で評価可能です。

SBS による最高検出感度

試料の形状・特性(例:硬度) 次第で、SBS は格子間酸素をlimits < 2ppma (< 1017/cm3) まで分析できます。実験可能性試験測定にご興味がありましたら、ブルカーの日本オフィスにご連絡ください。