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仕様

X線源 開放型X線源、加速電圧20-160kV、最大電力16W
X線検出器 6Mp アクティブピクセルフラットパネル、11Mp 広視野CCD検出器、11Mp 高分解能CCD検出器、8Mp 超高分解能CCD検出器
再構成ボリューム 単一スキャン後 最高8000×8000×2300ピクセル
空間分解能 <500nm (10%MTF、60nmピクセルサイズ)
ポジショニングステージ精度 <50nmの回転精度、エアーオペレーション大理石防振システム
最大サンプル搭載サイズ 300mm径(スキャンサイズ140mm)、400mm長、重量25kg
放射線安全性 装置外周いずれの箇所でも<1μSv/h

システムサイズ

SKYSCAN2214 dimensions