走査型拡がり抵抗法顕微鏡(SSRMおよびSSRM-HR)

広範囲の抵抗マッピングと最高の空間分解能のキャリア密度プロファイリング

発光ダイオード(LED)、光検出器、ダイオードレーザーは、半導体技術を基盤としています。こうした製品の開発や製造においては、電気的特性を二次元かつ高分解能で測定する能力が求められます。走査型拡がり抵抗顕微鏡 (SSRM) モードは、 走査型キャパシタンス顕微鏡 (SCM)と同じく、半導体サンプル表面の形状情報と同時に2Dキャリア密度分布が得られる技術です。SSRMでは、接触圧がやや強い、高めのフォースでコンタクトモード によるフィードバックとワイドレンジアンプを用いて拡がり抵抗を測定し、キャリア密度をマッピングします。

2Dキャリア密度マッピングで最高の空間分解能と再現性が得られる新しい Dimension Icon SSRM-HR パッケージ は、最先端の半導体研究に最適の構成です。

SSRMモードを搭載するブルカーのAFMシステム:

推奨されるAFMプローブ:

詳細

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Scanning spreading resistance microscopy 1
Topography (left) and SSRM channel (right) of ZnO sample (1.8μm scan size; sample courtesy of Prof. A. Waag, TU Braunschweig).
SSRM-HR-instrument
Dimension Icon SSRM-HR configuration