XZ 500 Extended Displacement Stage banner

z方向の変位可動範囲を500μmに拡張、柔らかい材料に対応します

xZ50ステージによりブルカーはトライボインデンターのz方向の変位レンジを拡大させ、さらなる評価の可能性を見いだしました。 押し込み深さを最大500μmまで可能にすることで、柔らかい材料の測定の幅が広がります。また、タック性の高い粘着剤などの評価も可能です。xZ500ステージは以下の独自の組み合わせを有しています。

  • 超低荷重の検出が可能
  • 低い変位ノイズフロア
  •    大きなz方向の変位稼働レンジ

 

xZ500ステージを用いることで、ゲル、粘着剤などのソフトマテリアルについて、より正確に、簡単に評価が可能です。これは大きな変位で小さな負荷を検出することができる機能によるものです。また、xZ500ステージを使えば、MEMSデバイスの異常箇所の剛性を直接確認するアプリケーションなどが実現可能です。

ブルカーの独自の3層の静電容量トランスデューサーとxZ500ステージはシステムで同時にコントロールされます。この場合、荷重の検出はトランスデューサー、変位の検出はxZ500ステージで行い、荷重ノイズフロアは<30nN、変位ノイズフロアは1nmの低ノイズフロアを実現しました。