M4 TORNADO, 2D µ-XRF, Ultimate Speed and Accuracy

太陽電池の分析

薄膜太陽電池の分析は、μXRFを用いて首尾よく行うことができます。空気中および真空下の両方で構造を測定することが可能です。測定対象の中の最も低いエネルギーの空気中での吸収は許容範囲内です。したがって、この方法は、製造工程中および最終試験中のインライン制御に快適に使用することができます。定量分析は標準的に行うことができます。EDSおよびWDXRFとの比較は、層の組成に関して良好な一致を示します。EDSの定量分析の結果は、使用されたエレメントラインによって異なります。これらのすべての方法について、層の厚さの結果は非常によく一致しています。

この応用例の分析は、Bruker M1 MISTRALおよびM4 TORNADOを用いて行いました。両方ともμXRF分析装置ですが、異なる測定条件を使用します。M1 MISTRALは空気中でのみ測定でき、スポットサイズを300μmに制限するコリメータを使用します。M4 TORNADOは、真空中で測定することもでき、ポリキャピラリーX線光学系を使用して25μmスポットサイズを使用します。

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