M4 TORNADO, 2D µ-XRF, Ultimate Speed and Accuracy

分析パフォーマンス

μXRF分析装置の性能は、測定条件によって異なります。パラメーターは、必要なタスクに従って慎重に選択する必要があります。

 

 

空間分解能

位置感応性測定の空間分解能は、スポットサイズ、ステップサイズ、測定強度などのさまざまな要因によって影響を受けます。

スポットサイズ
スポットサイズは、画像の空間分解能に影響を与える主な要因の1つです。ナイフエッジ法で測定されます。この技術は、位置の関数としてビーム強度を測定し、材料の成形エッジを横切るライン走査を行います。

ステップサイズ
元素分布画像の空間分解能に影響を及ぼす別の要因は、ピクセルサイズとピクセル間のコントラストです。μXRFでは、ピクセルサイズはスポットサイズだけでなく、ステップサイズによっても決定されます。ステップサイズがスポットサイズよりも小さい場合、空間分解能を改善することができます。一方、隣接ピクセル間の良好なコントラストのためには最小レベルの強度が必要です。画素強度は、画素当たりの取得時間を変えることによって変更することができます。これらの事実によれば、ステップサイズおよびピクセル強度は、所与のスポットサイズに対して最適化されなければなりません。

 

 

検出限界

μXRFの感度は、従来のエネルギー分散型XRF (ED-XRF)の感度に匹敵します。これは、分析物の励起効率およびピーク対バックグラウンド比によって決定されます。μXRF測定を実行する際には、管スペクトル以外にX線光学系の透過機能も考慮する必要があります。これは、低励起エネルギーおよび高励起エネルギーを持つ元素の検出限界(LOD)に影響します。LODは、従来のED-XRFと比較してすぐれています。

 

軽元素検出

軽元素由来の蛍光X線は、エネルギーが小さく、空気中でさえも吸収の影響が無視できません。したがって、これらの元素の測定は真空中で行う必要があります。

Si Peak under Vacuum (Blue) and in Air (Red)
Comparing the height of a Si peak under vacuum (blue) and in air (red)

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