M4 TORNADO, 2D µ-XRF, Ultimate Speed and Accuracy

コーティング分析

ここで議論されたサンプルを分析する際の特別な課題は、層(アルミニウム)と基板(シリコン)の両方が軽元素であるため、大気圧下で測定すると各元素の強度が得られないため試料と検出器との間のビーム経路を真空状態にする必要があるということです。さらに、このアプリケーションでは、自動ポイントを使用した手動分析と自動分析が比較されます。結果は、μXRFを用いて層の厚さを正確に測定することができることを示しており、これは走査型電子顕微鏡における層の破断エッジの直接測定結果との比較によって確認されます。

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μXRFによるレイヤー分析の詳細