纳米压痕和纳米划痕
纳米尺度样品的硬度和磨损测试
三种不同的受到磨损的摩擦膜，每个摩擦膜的中央都有明显的磨痕。AFM图像来自每个磨痕中心附近2um的扫描区域。
压痕是确定样品的力学性能（如硬度或模量）的常用工具。借助AFM系统上的金刚石探针，研究人员能够对体积极小的样品进行纳米压痕以获得宝贵数据。AFM还可执行纳米划痕和磨损测试，以研究薄膜的粘附力和耐用性。
布鲁克的NanoMan和NanoPlot软件包使用户可以灵活并精确地控制 SPM 探针在平面内的定位和移动，可直接、精确地操控纳米尺度物体、或进行表面压痕测试以及高清晰度纳米光刻。