原子力显微镜

AutoMET软件

增强的纳米级尺寸自动化测量系统

布鲁克的 AutoMET ™为苛刻的生产环境提供大批量、精确的 AFM 测量。AutoMET适用于尺寸快速扫描和尺寸图标系统,独特地实现了高分辨率 AFM 成像与快速自动化计量的结合。它为生产、QA/QC 或其他大批量测量应用中的关键到质量测量提供了卓越的易用性和适应性。

自动MET 启用:

  • 用户定义的自动纳米级测量,在数据存储滑块样品和裸晶圆和图案晶圆上的用户定义位置进行高达 300 毫米的测量
  • 光学和 AFM 图像模式识别、尖端中心、全晶圆或网格映射支持,以及数十纳米范围内的图像放置精度
  • 为高级用户编写全面而简单的配方
  • 轻松设置,将样品对齐以探测和执行对齐校正
  • 运行配方模式,使用预定义的配方轻松对数千个样本执行复杂的测量

AutoMET 包括一个直观而简单的配方编写环境,可非常轻松地将复杂的测量例程缩短到简单的按钮操作。所有经验级别的操作员都可以通过运行预定义的配方获得数千个样本的详细、准确的测量结果。

图 A 具有一个配方窗口,显示矩形或方形扫描区域用户定义的测量位置的基于网格的布局。图 B 具有一个配方窗口,显示基于晶圆的布局,用于精确、用户定义的 X,Y 测量位置。