AutoMET软件
增强版 Dimension 系统的纳米尺度自动化
布鲁克的AutoMET™ 软件为严苛生产环境实现了大批量、精确的AFM测量。AutoMET可用于Dimension FastScan和Dimension Icon系统，独具一格地实现了高分辨率AFM成像与快速、自动计量的结合。该软件为生产、QA/QC或其它大批量测量应用中对质量至关重要的测量提供了出色的易用性和适应性。
AutoMET 具有以下特性：
- 在数据存储磁头样品以及尺寸达300毫米的裸晶圆和图案化晶圆上用户指定位置进行用户定义的自动化纳米尺度测量
- 光学和AFM图像模式识别、针尖居中、全晶圆或网格成像支持、图像定位精度在数十纳米以内
- 面向高级用户的全面而简单的自动化程序编写
- 易于设置，将样品与探针对准并执行对准校正
- Run Recipe（运行自动化程序）模式可使用预定义自动化程序轻松对数千个样品进行复杂的测量
AutoMET包括一个直观、简单的自动化程序编写环境，轻松将复杂的测量流程简化为简单的按钮式操作。所有不同经验水平的操作者都可以通过运行预定义自动化程序，对数千个样品进行详细、精确的测量。
图A的自动化程序窗口显示了基于网格的布局，用于扫描矩形或正方形区域内用户指定的测量位置。图B的自动化程序窗口显示了基于晶圆的布局，用于精确的、用户指定的X、Y测量位置。
