ATOMIC FORCE MICROSCOPE

AutoMET 소프트웨어

Dimension systems위한 향상된 나노 스케일 자동화

브루커의 AutoMet™ 소프트웨어는 까다로운 생산 환경에 대량의 정밀한 AFM 측정을 제공합니다. 차원 FastScan 및 Dimension Icon 시스템에 사용할 수 있는 AutoMET은 고해상도 AFM 이미징과 빠르고 자동화된 계측을 독특하게 결합할 수 있습니다. 생산, QA/QC 또는 기타 대용량 측정 애플리케이션에서 중요하고 품질 측정을 위한 탁월한 사용 용이성과 적응성을 제공합니다.

AutoMET를 사용하면 다음을 수행할 수 있습니다.

데이터 스토리지 슬라이더 샘플 및 베어 및 패턴 웨이퍼에서 사용자 정의 자동화된 나노 스케일 측정최대 300밀리미터

광학 및 AFM 이미지 패턴 인식, 팁 센터링, 풀 웨이퍼 또는 그리드 매핑 지원, 수십 나노미터 내이미지 배치 정확도

고급 사용자를 위한 포괄적이지만 간단한 레시피 작성

시료를 프로브에 정렬하고 정렬 보정을 수행하기 쉬운 설정

미리 정의된 레시피를 사용하여 수천 개의 샘플에서 복잡한 측정을 쉽게 수행할 수 있는 레시피 모드를 실행합니다.

AutoMET에는 직관적이고 간단한 레시피 작성 환경이 포함되어 있어 복잡한 측정 루틴을 간단하고 푸시 버튼 작업으로 쉽게 줄일 수 있습니다. 모든 경험 수준의 운영자는 미리 정의된 레시피를 실행하여 수천 개의 샘플에 대한 상세하고 정확한 측정을 얻을 수 있습니다.

그림 A는 직사각형 또는 사각형 스캔 영역의 사용자 정의 측정 위치에 대한 그리드 기반 레이아웃을 보여주는 레시피 창을 특징으로 합니다. 그림 B는 정확하고 사용자 정의X, Y 측정 위치에 대한 웨이퍼 기반 레이아웃을 보여주는 레시피 창을 특징으로 합니다.