Delta-X
适用半导体薄膜分析的最新一代 X 射线量测系统
Delta-X
Delta-X 是布鲁克专为半导体薄膜分析而设计的最新一代 X 射线量测系统，适用于材料研究、工艺开发和质量控制等各阶段。该系统搭载了全自动化光源光学系统，能够在无需人工干预的情况下，切换标准 XRD、高分辨率 XRD（HRXRD）和 X 射线反射模式（XRR）。测量过程可以通过预设测量程序实现全自动化执行，同时支持在半手动模式下进行更复杂的测量。
五轴样品台
坚固耐用的欧拉支架
支持300 mm晶圆的全区域量测，兼容大尺寸晶圆与小尺寸样品
多功能，多应用
先进的材料研究工具
可支持当前及未来设计需求的薄膜研发
独家专利技术
专业的数据分析软件
搭载布鲁克知名的JV-RADS与JV-REFS软件，提供专家级数据呈现与解读
300 mm晶圆全区域测量能力
Delta X专为满足多样化的薄膜分析需求而打造，支持高分辨率摇摆曲线（high resolution rocking curves）、倒易空间成像（reciprocal space mapping）、X射线反射率（XRR）、掠入射X射线衍射（GIXRD）、相位鉴定、残余应力评估（residual stress）、薄膜织构（film texture）与晶粒尺寸（grain size）分析等多种功能。
其配备的五轴欧拉样品台不仅能够进行完整的300mm晶圆扫描，还兼具处理大小不一样品的能力。针对小样品，机台有多个定位卡槽，可自动排队执行跨样品的多类型检测任务，无需人工干预，显著提升测试效率，有力推动研究进程。
强大的自动化分析与报告软件
QCVelox-HR配备布鲁克一整套成熟可靠的软件套组：
- RADS：用于HRXRD数据分析，并依设定可生成组分、厚度、弛豫度报告
- REFS：用于XRR数据分析，并依设定可生成厚度、密度、粗糙度报告
- PeakFitting：用于FWHM计算与多峰拟合，可分析复杂结构中器件层组分
- PeakSplit：用于倒易空间图谱的自动化二维拟合，支持离线弛豫度与倾斜度分析
- QuickGraph：离线数据分析与基础分析工具
REFS software user interface during analysis of XRR data.