fp-III
第三代飞秒脉冲激光修复系统（Femto-Pulse Laser Repair System）
高速且精准的光罩修复能力
fp-III® 飞秒脉冲激光系统作为布鲁克备受赞誉的光罩修复家族的新成员，以其非凡的高速度与高精度修复能力脱颖而出。fp-III®成为当今替换过时、速度缓慢且性能较低的传统激光和FIB光罩修复设备的最具经济效益的选择，而且其专为大规模生产中的光罩修复需求而设计，支持低至45 nm技术节点的精细修复工作。它能够实现包括大面积与小面积图像重建及穿透保护膜的修复，确保了在各种复杂情况下的出色表现和高效运作。
广泛适用
激光烧蚀及可去除材料
适合各种材料的修复，包括铬（chrome），MoSi，不透明MoSi， SiN，石英，EUV，外来材料（foreign materials）和其他持续存在的未知颗粒。
准确的边缘放置能力
对于所有材料≤ 20 nm (± from target)
优秀的精度控制允许精确修复预设的参考位置或在线边缘处微调
迭代修复能力
基于飞秒脉冲激光
逐步迭代修复的区域，确保无吸收或石英损坏，无热损坏，无飞溅或卷起
所有光罩类型都适用
45 nm节点的修复
能够达到从EUV光罩中去除未知颗粒的能力
Precise
edge placement
Delivers extraordinary accuracy control.
Cost-Effective
repair solution
Provides fast, effective results on a broad range of materials.
High-Speed
femto-pulse laser
Enables quick repairs in volume production facilities.
超强操控能力，让修复变得简单
我们的飞秒脉冲激光修复系统实现了高度可控性，用户可以根据需要精确调节形状、功率以及脉冲数量，且该工艺不受材料组成、材料界面或待处理几何形状的影响。
更此外，本系统还标配了局部图案复制功能，使得设置过程简便快捷，保证了每次操作的一致性和可重复性。
为实现最佳性能而设计
fp-III标配了反射和透射成像，以提供最佳的AIMS透光率性能。
提供卓越的透膜修复能力和颗粒去除能力，能在大面积防止未知颗粒的污染。
体验强大功能，享受无忧操作
布鲁克的光罩修复系统fp-III是您理想的选择。该系统经过产线验证，能够实现高速、高质量的修复过程，并具备以下显著优势：
- 无需真空环境
- 不使用化学物质
- 无化学残留
- 无光束引起的充电效应
- 无需频繁使用定位标记进行漂移校正