困難だったEDS測定をルーチンワークに
XFlash® FlatQUAD検出器の比類ない感度とスピードが難易度の高いEDS分析を実現します
走査電子顕微鏡（SEM）でのエネルギー分散型X線分光法（EDS、EDX）による元素分析では複雑で測定困難な試料を取り扱うことがあります。ビーム損傷を受けやすい材料、生体薄片試料、半導体デバイス、バッテリー材料、FIB/TEM薄膜、ナノ粒子、凹凸試料、ガラスやセラミックなどのチャージアップしやすい試料はこれに該当します。これらの試料の分析では大面積のEDS検出器(>100 mm2)が適していますが、斜め挿入型検出器の配置と小さい検出立体角が効率的なシグナル検出の妨げとなることがあります。その結果、スペクトル品質が低くノイズの多いEDSマップとなります。
このウェビナーでは、長時間の積算が必要で難易度の高い現在のSEM-EDS元素分析が、ブルカーのXFlash® FlatQUAD 検出器を使用することにより容易なルーチン分析になる例をご紹介します。リング状に配置された4つのSDD素子を備えた検出器はSEMポールピースの直下に設置され、最高のシグナル検出効率と高い取り出し角を実現します。3 kV以下の低加速電圧や50 pA以下の低プローブ電流条件でも比類ない検出感度を実現します。このような電子ビーム条件は難易度の高い試料を分析する場合に必須となりますが、従来の斜め挿入型のEDS検出器では大面積検出器を複数使用してもこの条件での測定は困難でした。
最新のXFlash® FlatQUAD 検出器を用いた様々な定性/定量EDS分析例を網羅した30分間のウェビナーにぜひご参加ください。この革新的な検出器は非常に難易度の高い試料に対しても比類ない分析速度（10～50倍）と高感度での分析を容易に実現し、SEM-EDS分析において理想的な検出器となります。
このウェビナーのトピック：
- SEM-EDSの元素マップで、ノイズが多く有用な情報を得にくくなる要因
- 難易度の高い分析での従来型大面積EDS検出器の限界
- チャージアップ、シャドーイング、シグナル不足、ノイズ、長時間積算などの課題を解決する方法
- 導電コーティングせずに高真空モードで元素マップを測定する方法
- ライフサイエンス、半導体、材料科学、地質学、バッテリー研究などさまざまな分野でのアプリケーション例
- 4つのSDD素子を備えた試料直上型EDS検出器 XFlash® FlatQUADの主な特徴#
以下のような方におすすめします：
走査電子顕微鏡に関連する分野の研究者、学生、技術者
ナノ構造の分析に興味のあるSEM/TEMユーザー
材料科学、ライフサイエンス、半導体、バッテリー材料の定性・定量元素分析に興味のある方
倍率 500,000 倍、測定時間 89 秒、出力カウントレート 309,000 cps
発表者
ブルカージャパン株式会社 ナノ分析事業部
馬場洋樹
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