Dimension Edge PSS
Dimension Edge PSS
Le microscope à force atomique Dimension Edge™ PSS de Bruker accompagné du logiciel de métrologie AutoMET™ est le système idéal de nano-métrologie et de nano-inspection destiné aux fabricants de substrats et d'épitaxies de LED. En tant qu'extension de la plateforme AFM Dimension Edge, le Edge PSS intègre la valeur et la résolution exceptionnelles pour lesquelles les systèmes AFM Dimension sont réputés, tout en offrant une solution de production pour les mesures de substrat.
La Plus Haute Résolution pour l'Analyse des PSS
Lorsque le pas du substrat saphir structuré (PSS) descend en dessous de 2 microns, les techniques confocales traditionnelles perdent la résolution nécessaire pour fournir une métrologie de processus précieuse. Le microscope à force atomique (AFM) Dimension Edge PSS répond à ce besoin grâce à une résolution inférieure au nanomètre et à la possibilité de mesurer jusqu'à neuf plaquettes de 2 pouces à la fois (ou une seule plaquette de 4 ou 6 pouces), fournissant toutes les données nécessaires pour garder le processus de fabrication du PSS sous contrôle.
En plus des capacités de mesure spécifiques aux PSS intégrées au Dimension Edge PSS, le système intègre également toute la technologie AFM de Bruker, qui fait figure de leader mondial et pour laquelle les microscopes Dimension sont devenus célèbres, avec notamment une haute résolution et un faible bruit pour les mesures de rugosité épitaxiale, ainsi que des modes AFM standard et propriétaires tels que TappingMode, Contact Mode, PhaseImaging™ et LiftMode™.
Capacités de Métrologie Avancées pour les PSS
L'AFM Dimension Edge PSS offre une résolution nanométrique pour l'analyse de chaque paramètre critique des substrats PSS, tout en collectant automatiquement ces informations sur l'ensemble de la plaque ainsi que d'une plaque à l'autre. L'ensemble d'analyse dédié aux PSS de Bruker peut fournir simultanément des données sur :
- La hauteur, la largeur et le pas
- L'angle de la paroi latérale et le profil des caractéristiques
- L'Identification et la mesure de l'asymétrie
- Identification de la contamination
- Identification et angle de rotation
- Identification du sommet plat
Logiciel AutoMET à la Pointe de l'Industrie
Le système Edge PSS intègre le logiciel AutoMET qui a été spécialement conçu pour répondre aux exigences de la fabrication des LED. Le logiciel comporte deux modes de fonctionnement distincts :
- Niveau opérateur - Une interface utilisateur simple avec bouton à pression guide les utilisateurs à travers les étapes de changement de pointe, d'alignement, de réglage et de qualification. Un seul bouton permet d'exécuter automatiquement jusqu'à 9 plaquettes avec une sortie simple PASS/FAIL.
- Niveau ingénieur - Une interface utilisateur protégée par mot de passe permet aux ingénieurs d'accéder à tous les paramètres AFM critiques. Les ingénieurs de processus peuvent également définir tous les critères de réussite/échec nécessaires en toute simplicité dans ce mode.
Le Dimension Edge PSS améliore la convivialité pour l'opérateur grâce à un alignement laser facile et à la génération automatique de rapports, offrant ainsi la meilleure expérience utilisateur jamais proposée dans un AFM à bas prix.
