ARGUS FSE/BSE　イメージングシステム

eFlash EBSD検出器は、任意で、ARGUS™前散乱電子(FSE)および後方散乱電子(BSE)イメージングシステムで利用可能です。これにより、検出器の汎用性がさらに向上し、意味のある効率的な微細構造特性を得るための貴重な追加情報が提供されます。

2つのBSE検出器のセットは、EBSD検出器の画面の上に取り付けられています。3つのFSE検出器は画面の下にあります。検出器のこの位置は、eFlashのパフォーマンスやユーザーの使いやすさに影響を与えない、画面はユーザーが交換可能なままです。FSE/BSE検出器の動作に必要なすべての電子機器は、eFlash+検出器のケースにすでに含まれています。利便性とは別に、プリアンプが検出器に近づくと、信号損失が最小限に抑えられます。

BSE検出器による画質向上

EBSD モードではサンプルチルトが高いため、標準の SEM SE および BSE 検出システムは、低品質の画像を生成する傾向があります。ARGUS™ BSE 検出器は、高い傾斜角を持つサンプルから BSE 信号を取得するのに最適な位置に配置されます。これには、画面の上の位置とサンプルに向かう傾斜が含まれ、どちらも最適な信号強度を確保します。また、EDS検出器は、同時EDSとEBSDの取得のための最良の条件を提供するために、BSE検出器の間に適合することができます。生成される信号は、個別に使用するか、FSE検出器からの信号と混合することができます。

ARGUS™ FSE 検出器を使用したカラフルな向きコントラスト画像

3つのARGUS™の各FSE検出器は、蛍光体スクリーンの下に位置し、高異方性の回折前散乱信号(菊池パターン)の異なる部分を捕捉する。これにより、ARGUS™システムは、多結晶サンプル上でスキャンする場合の向きの変化に起因するわずかな信号変動を検出することができます。信号を表示するためにカラーコーディング(RGB)を使用して、人間の目のために非常に小さな方向の変更が表示されます。この機能は、ARGUS™システムに固有です。(技術の詳細については、A. P. Dayら, 顕微鏡検査のジャーナル, Vol. 195, Pt. 3, 1999年9月, pp. 186-196を参照してください。

信号の最適化は 、ESPRIT ソフトウェアへの完全な統合のおかげで、高速かつ完全に自動化されています。また、FSE信号はBSE信号と組み合わせることができます。

ARGUS™画像には科学的にも実用的な用途も含まれています。