SEM上のマイクロXRFを使用したプリント回路基板(PCB)上の電子部品の高速元素マッピング

元素回収 - 使用済み電子部品 内の微量元素の分布を決定

プリント回路基板(PCB)などの電気部品のリサイクルは、それらに含まれるいわゆる「重要な」要素の回収にとって重要です。これらの要素の回収は、鉱業生産量の現在の不足を補うために使用できます。したがって、現代のエネルギー転換の一環として、新しい電子機器やバッテリーを生産するために必要な 原材料の供給源として、リサイクルがますます重要になっています。

元素回収を効率的かつ効果的にするためには、トランジスタ、コンデンサ、ワイヤなどの どのPCBコンポーネントにどの特定の要素が含まれているかを迅速かつ正確に特定できることが重要です。

このアプリケーション例では、SEM上の高速マイクロXRF(SEM XRFとも呼ばれます)を使用して、サンプル前処理なしでPCBの元素マッピングを実現する方法を示します。ブルカーのSEM上のマイクロXRFシステムである QUANTAXマイクロXRFは、微量元素感度での電子部品の元素分析に使用できます。 

ブルカーのQUANTAXマイクロXRFシステムのX線源であるXTrace 2には、長い作動距離にわたって焦点を維持できる開口管理システム(AMS)が搭載されているため、これらの困難な3Dサンプルのマッピングを行うことができます。これは、PCBなどの地形的特徴を持つサンプルのイメージングに特に有益です。   

XTrace 2で使用されている50 kV Rhチューブは、高エネルギー元素線の分析と識別を可能にし、測定の信頼性を高めます。 

SEM上のマイクロXRFを使用して取得されたPCBの元素マッピングは、さまざまな回路コンポーネントの元素分布を示しています。

3D地物の高解像度元素マッピング

QUANTAX micro-XRFで使用される開口管理システム(AMS)は、電子部品などの3D機能を備えたサンプルの高解像度マッピングを可能にします。 

QUANTAX マイクロXRFで使用されるX線源であるXTrace 2のアパーチャ管理システム(AMS)は、さまざまな作動距離での回路フィーチャ内の要素の高解像度マッピングを容易にします。

より正確な元素分析のための高エネルギーライン

QUANTAX マイクロ蛍光X線分析計で使用される 50 kV X 線源である XTrace 2 は、サンプルをより高い電子エネルギーに励起します。これにより、より高いエネルギーの元素線から放出されます。この例では、これらの系統は Ag(Kα = 22.1 keV)、Sn (Kα = 25.3 keV)、およびBa(Kα = 32.2 keV)です 。この追加データにより、より正確な元素分析が可能になります。 

 

SEM上のマイクロXRFを使用して撮影されたスペクトルの高エネルギー部分。 XTrace 2は、ここに示す銀、スズ、バリウムラインなどの高エネルギーラインの分析を容易にします。インレイは、SEM XRFを使用して主要元素と微量元素の両方を検出する方法を示しています。