Rapid Stage

SEMのμXRFによる高速元素マッピング

Rapid Stageは、大領域での高速マッピングを可能にするために、標準的なSEMステージの上に取り付けられるように設計された、モジュラーピエゾベースのステージです。

主な特徴

  • 一般的なSEMステージに取り付け可能
  • SEMステージから独立して制御
  • 4 mm/sまでの移動速度
  • 短時間でのサンプルの低レベルの微量元素(例えば、グレインマウント、岩盤、薄片など)
  • eビーム励起と同時に使用できます(低エネルギー元素用)
  • VP/LVモードで動作
  • 素早いステージ交換