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Rapid Stage
SEMのμXRFによる高速元素マッピング
Rapid Stageは、大領域での高速マッピングを可能にするために、標準的なSEMステージの上に取り付けられるように設計された、モジュラーピエゾベースのステージです。
主な特徴
一般的なSEMステージに取り付け可能
SEMステージから独立して制御
4 mm/sまでの移動速度
短時間でのサンプルの低レベルの微量元素(例えば、グレインマウント、岩盤、薄片など)
eビーム励起と同時に使用できます(低エネルギー元素用)
VP/LVモードで動作
素早いステージ交換
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