快速样品台：扫描电子显微镜中的大面积元素分布图
电子显微镜中的高速、大面积成像
快速样品台是一种压电陶瓷驱动的样品台，安装在标准扫描电子显微镜（SEM）样品台上，能够实现大面积的高速、无缝成像。快速样品台可以与能谱（EDS）、微区X射线荧光光谱（micro-XRF）和波谱（WDS）等技术联合使用。
主要参数和优点：
- 与绝大多数扫描电子显微镜样品台兼容；
- 移动速度可达10mm/s；
- 能够直接扫描高达50mm×50mm的区域；对于更大的成像区域，它可与扫描电子显微镜平台协同工作——最大成像面积仅受限于扫描电子显微镜样品室的尺寸；
- 适用于可变压力（VP）模式——从低真空（LV）到高真空（HV）；
- 可以在扫描电镜上快速安装或拆卸，仅需一步简单操作。
图1：快速样品台安装在标准扫描电子显微镜（SEM）样品台之上，可沿X轴或Y轴移动样品，从而实现连续的大面积成像。
图2：快速样品台在扫描电子显微镜（SEM）中与微区X射线荧光光谱（micro-XRF）联合使用的示例。
快速样品台与QUANTAX EDS能谱仪联用
使用快速样品台与QUANTAX能谱（EDS）联用，可实现快速、无缝的大面积元素面分布，且无拼接痕迹，适用于所有常见样品类型。
在本例（如图4）中，我们将通过扫描电子显微镜（SEM）-能谱（EDS）技术获取的信用卡芯片的元素分布图进行了对比，其中一张图是在使用快速样品台的情况下获取的，另一张则是在未使用快速样品台的情况下获取的。
图3：示意图展示了在传统SEM-EDS分析中，电子束在样品上进行电子束扫描（左侧）；而在使用快速样品台的SEM-EDS中，样品在固定的电子束下移动（右侧）。
图4：未使用快速样品台（左）和使用快速样品台（右）拍摄的信用卡芯片的SEM-EDS元素面分布图。使用快速样品台收集的元素分布图显示了连续的数据，而未使用快速样品台拍摄的图则显示出拼接痕迹。
快速样品台与QUANTAX Micro-XRF 联用
快速样品台实现了对大样品的快速、高精度扫描，显著提升了微区X射线荧光光谱（micro-XRF）的性能。
在微量元素成分细节分布图的应用中，这一点尤为重要。快速样品台的平稳、自动化移动确保了数据一致性，且不会出现拼接效应。
快速样品台与QUANTAX微区X射线荧光光谱（micro-XRF）的结合使研究人员能够制作全面的大面积元素分布图，例如在图5中展示的地质样品的元素分布图。
图5：智利埃尔特索罗矿场采集的富含铜的地质样品的微区X射线荧光光谱（micro-XRF）图，该图通过扫描电子显微镜（SEM）-X射线荧光光谱（XRF）技术获取。分析区域为40mm×20mm
快速样品台与QUANTAX WDS 联用
波谱（WDS）可提供高能量分辨率的元素分布图，尤其适用于解析重叠峰以及检测微量或轻元素。然而，传统的WDS成像过程耗时较长。在低倍率下对电子束进行扫描并不合适，因为高角度时会发生信号损失。
QUANTAX波长色散光谱（WDS）与快速样品台联用可以完美克服这些限制，显著提高了速度和效率，使在合理的测量时间内进行大面积WDS成像成为可能。
在图6示例中，即使存在重叠峰，也能在尺寸为2.9mm×2.2mm的矿石样品中准确获得元素面分布图。
图6：扫描电子显微镜（SEM）-波长色散光谱（WDS）结合快速样品台在仅一个多小时内获取的2.9mm×2.2mm的元素分布图。WDS能够在高分辨率下解析具有重叠峰的元素，例如铁（Fe）和钴（Co）。
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