快速样品台
在 SEM 上使用微区 XRF 进行高速元素面分析
快速样品台是一个模块化的基于压电技术的样品台，它被设计安装在标准 SEM 样品台上，以实现大面积的高速精准移动。
关键事实和优势
- 可适应最常见的SEM样品台
- 独立于 SEM 样品台进行控制
- 移动速度高达 4 mm/s
- 在短时间内找到样品中的含量微量元素的区域（如颗粒支座、岩石板、薄部分等）
- 可与电子束信号激发源同时使用（用于低能量元素）
- 支持在低真空和可变气压模式下工作
- 样品台安装和拆卸简单
SEM 中快速样品台的设置
铜矿床样品的大面积面分析
快速样品台和 SCU 控制器