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快速样品台

在 SEM 上使用微区 XRF 进行高速元素面分析

快速样品台是一个模块化的基于压电技术的样品台,它被设计安装在标准 SEM 样品台上,以实现大面积的高速精准移动。

关键事实和优势

  • 可适应最常见的SEM样品台
  • 独立于 SEM 样品台进行控制
  • 移动速度高达 4 mm/s
  • 在短时间内找到样品中的含量微量元素的区域(如颗粒支座、岩石板、薄部分等)
  • 可与电子束信号激发源同时使用(用于低能量元素)
  • 支持在低真空和可变气压模式下工作
  • 样品台安装和拆卸简单