Nion ULTRASTEM

特長

原子置換を含む単層窒化ホウ素の環状暗視野（ADF）像。画像の定量解析から詳細な原子モデルを作成し、画像上に重ねて表示しています。ホウ素原子は赤、炭素原子は黄、窒素原子は緑、酸素原子は青で示されています。（画像提供：Tim Pennycook, ORNL & Vanderbilt U.）

2 Åのプローブで1 nAを超える電流	原子分解能の電子エネルギー損失分光法（EELS）による高速元素マッピング
0.8 Åの高角度環状暗視野（HAADF）分解能	微細な間隔と単一原子を分離
すべての5次軸上収差を補正	より大きなプローブ角と高いビーム電流
すべての操作をリモートで実行可能	現地での支援を必要としないリモート操作
摩擦のない中心対称型試料ステージ	超高精度の試料移動とドリフトの抑制
ボールベアリングを使用した二軸傾斜試料ホルダー	バックラッシュのない超高精度傾斜
高速静電ビームブランカー	データ非取得時の試料損傷を防止
5次収差補正EELS光学系	50 mradを超える取り込み半角により、分析効率を向上
顕微鏡カラム全体をイオンポンプで排気	試料の汚染とエッチングを最小限に抑制
カラムには金属製真空シールのみを使用	試料部の真空度は通常1×10⁻⁹ Torr未満
カラム全体を140°Cまでベーク可能	顕微鏡に起因する汚染を排除
カラム全体を二重μメタルでシールド	外来交流磁場の影響を最小限に抑制
完全モジュール構造	顕微鏡カラムのカスタマイズが可能
自己診断機能を備えた電子回路	迅速なリモートサービス