Dimension HPI
Dimension HPI
原子間力顕微鏡（AFM）であるDimensionｮ ファミリーのファミリーは、最高の速度と性能から工業用計測用途の長年の実績により高い評価を得ています。量産の生産環境向けに特別に設計されたDimension HPI およびPRO システムは、多くのAFM モードの自動測定を可能にしながら、品質管理、品質保証、および故障解析のための最大限の使いやすさと運用におけるコスト低減を提供します。コンタクト、タッピング、およびPeakForceTappingｮ モード技術を使用して、ユーザーはプローブとサンプル間の相互作用を正確に制御し、長いチップ寿命と同時に数千回もの反復測定においても正確な結果を提供します。
幅広い測定レンジ
独自のPeakForceタッピングモードから従来のAFMモードまで、Dimension HPIは、通常のAFM研究セットアップに伴う複雑さを伴わずに、幅広いサンプルの特定の製造計測ニーズに対応するための幅広い範囲と柔軟性を提供します。
高速ナノ電気計測
導電性AFM（CAFM）を搭載したFastScan技術は、高いスキャンレートでナノスケール電流測定を行うことができ、故障解析測定の効率を大幅に向上させることができます。小型磁力顕微鏡（MFM）カンチレバーを使用したFastScan HPIは、MFMアプリケーションのスキャンレートを10倍以上に向上させ、PeakForce Tappingを使用した卓越したデータ品質を提供します。PeakForce KPFM™ は、最高の空間分解能と最も正確な表面電位の測定を提供します。PeakForce TUNA™ は、最も感度の高い導電率測定を提供します。
精密なナノメカニカルマッピング
ブルカー独自のPeakForce QNMとFastForce Volume™ナノスケールメカニカルマッピングモードは、サンプルのトポグラフィーや電気的特性をイメージングしながら、弾性率、剛性、接着性、放熱性、変形などの機械的特性を正確にマッピングすることができます。PeakForce QNM は、透過型電子顕微鏡や走査型電子顕微鏡では測定できないポリマー、薄膜、ナノスケールの欠陥などの非破壊測定を可能にします。