エリプソメトリー・反射率測定システム
生産工程での品質評価に最適な高速フィルム計測
迅速かつ簡単に薄膜から厚膜の特性評価を
分光反射率測定は広く用いられている膜厚測定技術で、特にアドバンストパッケージング、マイクロエレクトロニクス、誘電体用途で使用される単層膜の測定において、多くの製造現場で採用されています。この技術は、分光エリプソメトリーよりも高速に測定・データ取得ができ、複雑な構成やモデリングを必要としないため、薄膜から厚膜（数nm〜100μm以上）までの層厚や光学特性を迅速かつ簡便に評価できる方法です。また、相対的な高速性・操作の容易さ・さまざまなサンプルや測定要件への適合性から、品質モニタリング用途としてインラインシステムに組み込まれるケースも一般的です。
FilmTekの分光反射率計は、特許取得済のさまざまな技術を統合することで、測定可能な膜厚範囲を大幅に拡大し、回折性・散乱性の材料や多層構造にも対応できるなど、標準的な反射率計を上回る性能を備えています。その結果、FilmTekの分光反射率計は、一般的な装置よりも取り扱えるサンプルの種類が広く、より多くの非標準的な膜測定ニーズにも柔軟に対応できます。
