PI89 回転/傾斜補正ステージ
SEM中で行う様々なイメージング、FIBミリング、分析手法をナノメカニカルテストと合わせてシームレスに実施可能に
取付方法は2パターン
構成 A (スタンダードモデル):
- インデンテーション軸に垂直な回転 - 従来のEBSD、FIBミリング、トップダウンイメージングに最適化されています。
構成 B (スピンドルモデル):
- インデント軸に平行な回転 - ライブ EBSD、TKD、STEM 用に最適化
- 複数の検出器と視野角を持つナノメカニクスを組み合わせることで、顕微鏡を最大限に活用できます。。
- 真空下でのFIB加工とテストにより、サンプルの取り扱いと露出を削減します。
- 傾斜範囲:180°、精度:0.33°
- 回転範囲:180°、精度:0.18°
構成 A (標準):
オプションの回転/傾斜補正ステージを搭載したハイジトロンPI 89は、5つの自由度（X,Y,Z,傾斜,回転）を備えた柔軟な試料位置決め機能を備えており、ユーザーは試料前処理のためのイオンビームや、材料の機械的応答のより深い理解を得るためにEBSD、EDS、またはWDSなどの検出器を使用して試料を整列させることができます。
二重鋼の位相のインデントとEBSDマッピング。
構成 B (スピンドル):
- インデント軸に平行な回転
- ライブ EBSD、TKD、STEM 用に最適化
粒子圧縮およびインザチュFIBミリング。
