Opterra Multipoint Confocal

エピタキシャル薄膜HRXRDモニタリングに最適な性能

Bruker JV-QCVeloxは、主要なLEDメーカがLED製造ラインを監視するためのシステムです。これは業界標準のJV-QC3に基づいており、スループットの大幅な向上を実現しています。最適なX線源と光学技術を使用することにより、高スループットと優れた再現性を実現し、生産環境内でのレイヤー品質と構造の迅速なフィードバックを可能にします。


On Off
JV QCVelox 3
Metrology cycle qt velox v1

JV-QCVeloxは、JV-QC3と同様に、水平サンプルのマウント、エッジ・エクスクルージョンなしの試料全面マッピング、自動データ解析、完全自動アライメント、及び自動測定など、真の自動操作を実現します。 JV-QC3に加えて、生産性向上のためにより高いスループットとバーコードリーダーが搭載されています

オプションのロボットハンドラは、カセットからの自動装填および測定に使用できます。これは、すべての化合物半導体材料の半導体基板、エピ層構造および処理されたデバイスウェハのルーチン分析に理想的なツールです。