3次元表面計測

半導体およびMEMS用途向け3次元白色光干渉型顕微鏡

Semiconductor and Microelectronics figure E
3D height map of Cu plating for the redistribution layer (RDL) used in semiconductor IC packaging.

Contour Elite 3D白色光干渉型顕微鏡は高精度の3D表面計測に不可欠な高い感度と安定性を備えており、高輝度LED、太陽光発電、半導体、MEMSの分野での高度な品質保証/管理、研究開発の用途など、他の計測システムでは困難な用途や環境で使用できます。重要な計測として、フィルムの厚さ、レイヤーと基板の粗さの計測、さらにRA粗さ、ピッチ、幅、および高さのモニタリングと検証があります。

 

 

Contour Eliteシステムは、業界最大の視野での水平方向と垂直方向の分解能と、nm未満から10 mmを超えるまでの垂直レンジを兼ね備えています。また、高忠実度のイメージング機能も装備しており、他の方法では表示が困難か不可能な、表面に特有の微細部分を明らかにします。カラー/グレースケール情報に基づくデータ分割により、着目する領域を即座に選択して、指定領域から重要な計測データを収集できます。この機能と、部品の拡大部分の鮮明なグラフィック表示機能を組み合わせることにより、ユーザーはサンプルの真の3D表面形状を実際に見ることができるため、表面加工の問題をよりよく解決できます。

 

 

Semiconductor and Microelectronics figure D
3D height map of a printed circuit board (PCB) with color image overlay.
Semiconductor and microelectronics figure C
3D optical microscope maping shows a pattern etched into a semiconductor wafer.

Contour EliteのWLIテクノロジーは非常に高速であるため、特に生産量が常に高いレベルに押し上げられている場合の品質管理/プロセスモニタリングツールとして最適です。この最新世代のContour 3D光学顕微鏡は、工場で使用可能であり、また高速処理と卓越した正確度を兼ね備えているため、半導体およびMEMSの産業分野で重要な表面検査が要求される困難な用途に最適です。