MEMS webslider 2017

 

マイクロエレクトロニクスのアプリケーション

精確で再現性の高い迅速な計測が半導体製造工程を改善

電子機器、通信機器、娯楽機器が広く普及した結果、元素半導体や化合物半導体の需要が大幅に増えてきています。半導体メーカーにおいては製品の競争力を確保する目的で、極めて精確で再現性が高くフレキシブルな計測手法が必要となっています。ブルカーでは、半導体・MEMS製造およびICパッケージングのための回路パターン限界寸法(CD)を3D計測するための、迅速・非破壊で全自動の計測機能を備えた、3D光学ソリューションのラインナップを用意しています。

製品に関するお問合せ

フレキシブル/プリンテッド・エレクトロニクス


プリンテッド・エレクトロニクスは家電やロジック/メモリー、有機ELディスプレイ、センサー、RFID(媒体に電波・電磁波を用いたIDシステム)、大画面フレキシブル・ディスプレイ、電子ペーパー、広域コンフォーマルアンテナ、スマート衣料、照明、太陽光発電、さらにはヘルスケアの製造に変革をもたらしています。ブルカーの先進3Dプロファイリング技術は、評価装置1台だけで、フレキシブルメンブレン全面の擾乱のない、高スループットでサブナノメーター精度の垂直分解能の計測を可能にします。

SOM Applications medical Felxible and Printed Electronics
SOM Applications medical LCDs Displays and Touch Panels2

液晶ディスプレイとタッチパネル


タッチパネルとディスプレイの市場が急速に成長するなかで、それらを購入して使用する多数の消費者に対して、最終製品の品質を確保するための高精度の計測手法が要求されています。ブルカーの3D光学顕微鏡は、タッチパネルとディスプレイの製造現場で要求される静電インク層の高さやITO膜の突起、さらには膜厚の計測を、精確・非接触に行います。

発光ダイオード(LED)


メーカーが大型ウェハー基板に採用へと移行するとともに、パターン化サファイア基板(PSS)において、主要な高さパラメータをモニタリングするための計測へのニーズは、目に見えて高まってきています。ブルカーの3D光学顕微鏡システムは、高輝度発光ダイオードと有機発光ダイオードの両方の次世代のR&Dおよび製造を目的とした、PSSの計測が可能です。PSS突起物の高さやピッチ、直径の精確な特性評価のほか、1部位あたりわずか数秒での計測が可能です。

SOM Applications medical Light Emitting Diodes LEDs
SOM Applications medical Microelectromechanical Systems MEMS

微小電気機械システム(MEMS)


自動車の極めて重要な機能の遂行から携帯電話の操作まで、マイクロマシンは私たちの日常生活に欠かせないものとなっています。そうしたことから、微小電気機械システム(MEMS)の着実な進歩の重要な鍵の一つが精確な計測にあることは、驚くに値しないことでしょう。ブルカーの3D光学顕微鏡は、表面形状や表面粗さ、側壁の角度、熱特性、その他諸々を含む広範なパラメータについて、精確で非接触の計測を実現いたします。

ウェハーレベルパッケージング(WLP)


スマートモバイル機器のフォームファクタ(物理的寸法)の抑制やクラウドコンピューティングによる処理速度などパフォーマンスファクタ(運転エネルギー消費効率)の押し上げを背景に、ICチップのパッケージング技術は急速に進化してきています。ウェハーレベルパッケージングにおいて、シリコン貫通電極(TSV)や再配線層、アンダーバンプ・メタライゼーション、マイクロバンプのプロセス開発と制御に対しては、従来からの2D計測手法ではもはや、追い付くことがかなわない状況となっています。ブルカーの全自動・非接触光学プロファイリングシステムは、カスタマイズのインライン・ウェハーハンドリング機構を完備し、高品位の3D形状情報を提供いたします。

SOM Applications medical Wafer Level Packaging WLP
SOM Industrial Solar Energy2
ソーラーエネルギー


太陽電池の製造に使われる様々な技術は、研究者や企業の効率改善やコスト低減に向けた取組みとともに、急速に進化してきています。ブルカーの3D光学プロファイラーは、表面や膜厚を迅速にサブナノメーターの分解能で計測することで、太陽電池の開発と製造を改善するのに必要なデータの取得を相互補完しています。粗さやステップ高さ、トレース幅、スクライブ幅、膜厚の計測、さらには欠陥検知といったすべてが製造ラインをサポートしています。

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