Dimension Edge PSS 527x247
Patterned Sapphire Substrate AFM Image
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パターン化サファイア基板

パターン化サファイア基板(PSS)は、輝度とデバイスの発行効率を向上させ、ルーメンあたりの費用を抑える目的で、高輝度LED製造に広く用いられている技術です。PSSは通常、サファイアウェハーに周期的パターンをエッチングして製造されます。パターンの形状はさまざまですが、円錐や半球、ピラミッド型などの構造をしています。こうした構造では、光学技術の調整が難しいことがあります。こうした構造を用いて、出ていく光子の角度を変え、内部反射を減らすことで、光の取り出し効率を高めています。Edge-PSS AFMでは、パターン形状の 高さ/幅/角度測定など、PSS製造プロセスのコントロールに必要な情報を取得するほか、完全な3Dプロファイルも提供します。PSSやLEDの製造においては、今後も埋め込み構造のピッチや面積が縮小され、効率がいっそう高められていくものと見込まれます。Edge-PSSは、そうしたニーズに対応できる機能を備えています。

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