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先進的なPSS計測機能

Dimension Edge PSSとAutoMETを使用する場合、AFM分解能ですべてのサブストレートフィーチャーを分析する機能およびウェハー全体の統計データを自動提供する機能の両方があります。ブルカーのPSS専用分析パッケージは、以下のデータを同時に提供できます。

  • 高さ
  • 側壁角度
  • フィーチャープロファイル
  • 直径
  • ピッチ

Dimension Edge PSSは、LED製造ロードマップのニーズを満たすミクロン未満のピッチ分解能を提供します。ノイズフロアが0.2 nm未満なので、ベアサブストレートとエピの粗さを測定できます。また、2インチと6インチのウェハーに対応することにより、試料の柔軟性を提供します。

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Dimension Edge PSS AutoMET software and system with 9 wafer chuck.
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