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Dimension FastScan Pro
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製造環境専用に設計された先進のAFM

Dimension FastScan Pro システムは、オープンアクセスプラットフォーム、大型単体または複数のサンプルホルダー、および多数の使いやすい機能を装備しており、産業の品質保証、品質管理、および工場オートメーションの用途向けに、柔軟性が非常に高く高性能のナノスケール計測ソリューションを提供します。FastScan Proの特長:

  • 2~12インチのウエハーの自動計測:半導体、データストレージ、高輝度LED向け
  • 産業環境専用に設計され、実績を備えた高信頼性のプラットフォーム
  • 顕微鏡のXYサンプリング距離が大きく、200 mmウエハー全体、また直径200 mmの領域内の複数サンプルに対応(300 mmウエハーの治具はオプション)
  • 表面形状、粗さ、その他の計測分析でFastScanスキャナーの5~10倍の高スループット
  • スキャン範囲が90 µmのIconスキャナー:大規模スキャン、および高い正確度の表面形状計測向け
  • 光学およびAFMの光学パターン認識、および先端のセンタリングによりnmレベルの位置合わせを実現

比類なき使いやすさと非常に高い性能を持つ自動化ソフトウェア

新しい AutoMET™ 総合レシピソフトウェアは、単純な操作で高速の自動計測を行い、製造に不可欠で品質に重要な計測値をAFMから容易に収集できます。

  • 複数位置のナノスケール分析用に、複数サンプルまたは大型の単一サンプルの計測を自動化
  • 光学およびAFMの画像パターン認識、先端センタリング、ウエハー全体またはグリッドのマッピングのサポート、および数十nm以内の正確な画像配置
  • 上級ユーザーやエンジニアリング向けの総合的かつ簡単なレシピ作成機能を、リアルタイムおよびオフラインで簡単に使用可能
  • サンプルとプローブの位置合わせ、およびAFM環境用の位置補正の設定が容易
FastScan Pro Scanner head v1