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高い生産性の実現

  • 1秒当たり最高で数フレームの高スキャンレート、レーザーと検出器の自動アライメント、包括的なワークフロー、およびスマートエンゲージにより、従来の数百倍の速度で測定可能
  • 測定自動化ソフトウェアおよび高速化されたScanAsyst®を搭載し、並外れた信頼性と再現性の測定を実現

高分解能な画像の取得

  • チップの精密なフォースコントロールにより高分解能な画像を取得するとともに、チップの寿命を長期化
  • 低ノイズな温度補償付きセンサーをスキャナーに搭載し、ノイズレベルをナノメートル未満に抑制

あらゆるAFM試料に対して高性能を発揮

  • クローズドループ方式のIconスキャナーとFastScanスキャナーにより垂直方向のノイズをそれぞれ30pmおよび40pm未満に抑制し、高精度と超低ドリフトを実現
  • 高さがナノメートル未満から数百ナノメートルの範囲の試料を、分解能を損なうことなく測定

Dimension FastScanシステムは、超低ノイズと高精度のIconスキャナーまたは高速スキャンのFastScanスキャナーのどちらと組み合わせた場合も、市販されているどの装置を使用してもそれ1台では到達不可能なレベルまで、試験室の測定能力を強化します。

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Dimension FastScan System Configuration:
(1) Acoustic and Vibration Isolation Enclosure; (2) Scanners; (3) Ultra-Stable High-Resonance Microscope Base; (4) 30” Monitor and FastScan NanoScope Software; (5) Computer; (6) NanoScope V, Stage Controller and H