ディープトレンチ(DT)モード

高アスペクト比の深さ測定に最適なスキャン

ディープトレンチ(DT)モードは、90nm以上の深い半導体トレンチ構造の繰り返し測定専用に開発されたAFMモードです。このモードは適用型スキャンテクニックで、ユーザー指定のシステム状態条件に適合する場合にのみデータが採取されます。つまり、チップは特定のサーボ状態でのみ、動くことを「許可」されます。DTモードでは、「良好」なスキャン条件が満たされている場合にのみ、サンプル表面に沿ってチップを「ステップ」させ、データポイントを採取します。これにより、形状に応じたスキャンの最適化が可能になります。目的の形状でデータポイントの集中度が最大になり、それ以外では小さくなるため、測定精度が向上します。

DTモードを搭載するブルカーのAFMシステム:

推奨されるAFMプローブ:

Deep trench mode
Isolated semiconductor via