ピエゾレスポンスフォース顕微鏡(PFM)

圧電材料のナノスケールの電気機械的特性測定

圧電応答材料とは、電圧印加に反応して機械的変形を起こす物質を指します。この圧電材料の特性は、マイクロマシン (MEMS) からバイオセンサーまで、幅広い分野で利用されています。

圧電性物質の一種である強誘電体材料は、特に有益な機能的特性を備えています。プロセス管理が向上し、強誘電体の小型化が一般的になるにつれ、強誘電体材料の物理的特性が材料の縮小に伴い変化することがわかってきました。ピエゾレスポンスフォース顕微鏡 (PFM) モードでは、 コンタクトモード スキャンを用いた圧電材料のナノスケールでの特性評価、および形状測定が可能です。ブルカーのNanoManおよびNanoPlotソフトウェアパッケージを使えば、PFMを用いた ナノリソグラフィー も可能です。

PFMモードを搭載するブルカーのAFMシステム:

以下のブルカーAFMで使用可能:

推奨されるAFMプローブ:

Piezoresponse force microscopy 1
Small defect in the poling boundary of a lithium niobate film.