ナノリソグラフィー

精密なコントロールでナノスケール構造を作成

最先端のナノテクノロジー研究のなかには、ナノスケール構造の精密な製造や相互接続が求められるものがあります。陽極酸化ナノリソグラフィーでは、AFMプローブに電圧を印加して、チップのすぐ下に酸化被膜を作成します。酸化被膜はチップ下だけで形成されるので、ごく細い酸化ラインをサンプル上に書き込むことができます。

ブルカーのNanoManおよびNanoPlotソフトウェアパッケージでは、さまざまな「書き込み」技術を用いた高精細度ナノリソグラフィーを可能にする、ユーザーフレンドリーなインターフェースを提供しています。グラフィカルなポイント&クリックモードにも、レシピ駆動モードにも対応しています。リソグラフィーは、Dimension Iconシステムでピエゾレスポンスフォース顕微鏡(PFM)を用いても実行可能です。

ナノリソグラフィーモードを搭載するブルカーのAFMシステム:

推奨されるAFMプローブ:

Nanolithography 1
Anodic oxidation on Si using SCM-PIT tip to create a nanolithography pumpkin; 5μm scan size showing Height data with shadowing.