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ナノピラー・ビーム(梁)

多くのナノスケール材料が高い強度を示す現象は1950年代に金属ウィスカでこの現象が観察されて以来議論されてきました。バルク材料の機械的性質に欠陥や転位が与える影響はよく知られていますが、バルク材料の性質を予測および説明するために開発された理論は必ずしもナノスケールの材料に適応することはできません。そのため、材料のサイズ依存性を議論するためにナノスケール構造を試験する手法が開発されてきました。

ピラー、ビームなどのナノスケール構造は、in-situでの機械的特性評価試験に特に適しています。試験前に電子顕微鏡を用いて試料を観察し、適切な測定位置を選択します。この位置合わせは試料に接触することなく実行でき、試験のために試料を元の状態に保ちます。圧子と試料の両方にコンタミネーションや既存の欠陥が存在していないかも事前に把握できます。機械的特性評価試験の間、変形・破壊の様子をリアルタイムでビデオ撮影できるため、機械的特性と形態変化を相関させて考察することが可能です。ピラーやビームの寸法も簡単に測定できるため、応力-ひずみや破壊靭性などの値を簡単に計算できます。

ナノピラー・ビーム(梁)の評価が可能な顕微鏡搭載型ナノインデンテーションシステム

PI 85l SEM Picoindenter icon

PI 85L SEM PicoIndenter

SEM(走査電子顕微鏡)中で行うin-situナノ力学特性評価ベーシックモデル

 

PI 88 SEM Picoindenter icon

PI 88 SEM PicoIndenter

SEM、FIB/SEM中で行うin-situナノ力学特性評価ハイエンドモデル

 

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PI 95 TEM PicoIndenter

TEM(透過電子顕微鏡)中で行うin-situナノ力学特性評価モデル