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ディスプレイ・LED/OLED

ディスプレイ材料のナノ機械的特性および界面接着特性

次世代のディスプレイテクノロジーには、柔軟な有機材料と比較的硬い無機層のユニークな組み合わせが利用されています。多層デバイスの機械的な故障は最も弱い部品の強度に依存しているため、性能と信頼性を最大にするために様々な材料と製造プロセスを微調整する必要があります。堆積層間の残留応力、熱膨張の不一致による熱応力、デバイスに加わる外部応力などの組み合わせにより、機械的特性が複雑化します。機械的特性の正確に評価し、把握しておくことには、応力による変形などの機械的故障の予防につながります。

ブルカーはLEDやOLEDの機械的特性および界面特性を定量的に測定するための包括的なナノ機械的特性評価技術を開発しました。ナノインデンテーションは、ディスプレイ製造に使用される薄膜および基板のナノ機械的特性(例えば、弾性率、硬さ、破壊靭性、クリープ、応力緩和など)を定量的に評価できる手段です。また、動的ナノインデンテーション測定を利用することにより、局所粘弾性特性などを評価することが可能です。さらに、ナノスクラッチ試験により、薄膜層間の定量的な界面接着特性評価測定が可能です。

ディスプレイ・LED/OLEDが評価可能な独立型ナノインデンテーションシステム

TI980 Tool Image v5

TI 980 TriboIndenter

ブルカーの最先端のナノ力学特性、ナノトライボロジー特性評価装置。最大の性能、順応性、信頼性、感度、測定スピード。

TI950 Tool Image v5

TI 950 TriboIndenter

多用途に使用可能なナノ力学特性、ナノトライボロジー特性評価装置。幅広い複合評価をご提供可能。

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TI Premier

コンパクトなプラットフォームでナノスケールの力学特性評価のエッセンスを詰め込んだナノ力学特性評価専用装置。

ディスプレイ・LED/OLEDが評価可能な顕微鏡搭載型ナノインデンテーションシステム

PI 85l SEM Picoindenter icon

PI 85L SEM PicoIndenter

SEM(走査電子顕微鏡)中で行うin-situナノ力学特性評価ベーシックモデル

 

PI 88 SEM Picoindenter icon

PI 88 SEM PicoIndenter

SEM、FIB/SEM中で行うin-situナノ力学特性評価ハイエンドモデル

 

PI 95 TEM Picoindenter icon

PI 95 TEM PicoIndenter

TEM(透過電子顕微鏡)中で行うin-situナノ力学特性評価モデル

 

TS 75 Product image v1

TS 75 TriboScope

ブルカーのAFM(原子間力顕微鏡)に取り付けてナノインデンテーションを行う専用アタッチメント